[實用新型]一種單晶硅短晶棒加工固定裝置

有效

• 申請號: 201720969746.2
• 申請日: 2017-08-04
• 公開（公告）號: CN207206815U
• 公開（公告）日: 2018-04-10
• 發明（設計）人: 陳志佳
• 申請（專利權）人: 寧夏中晶半導體材料有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 銀川長征知識產權代理事務所64102
• 代理人: 馬長增,姚源

1.一種單晶硅短晶棒加工固定裝置,包括外環、內環、加強筋、鎖扣，所述固定裝置為圓環狀，且位于圓環上開設有連接口，所述外環由外環a與外環b組成，內環由內環a與內環b組成，其特征在于：所述內環a與外環a為第一組固定環且兩者之間留有空隙，內環b與外環b為第二組固定環且兩者之間留有空隙，所述第一組固定環與第二組固定環之間等角度安裝有用于連接第一組固定環與第二組固定環的加強筋，且加強筋的兩端頭分別安裝在內環a與外環a、內環b與外環b的空隙處，所述位于連接口端，外環a與外環b上都安裝有鎖扣裝置。

2.根據權利要求1所述一種單晶硅短晶棒加工固定裝置，其特征在于：所述位于連接口處，外環與內環固定連接形成接觸面。

3.根據權利要求1所述一種單晶硅短晶棒加工固定裝置，其特征在于：所述鎖扣裝置呈搭扣鎖形式安裝在外環a與外環b上。

4.根據權利要求1所述一種單晶硅短晶棒加工固定裝置，其特征在于：所述內環的直徑由鎖扣鎖緊時與晶棒的直徑保持一致。