[實(shí)用新型]晶圓載運(yùn)系統(tǒng)、晶圓載具及電子標(biāo)簽?zāi)K

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720966499.0
• 申請(qǐng)日: 2017-08-03
• 公開（公告）號(hào): CN207489826U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉秀珢;鄭吉宸;張*杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 渴飛股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;G06K19/077
• 代理公司: 北京律和信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11446
• 代理人: 鮑曉芳;劉國偉

一種晶圓載運(yùn)系統(tǒng)包含多個(gè)晶圓載具、承載盒體、電子標(biāo)簽?zāi)K及多個(gè)信息傳輸裝置。承載盒體用以承載多個(gè)晶圓。電子標(biāo)簽?zāi)K包含供電單元、紅外線傳輸組件及電子紙顯示器。電子紙顯示器能顯示晶圓信息。電子紙顯示器能于供電單元提供的電壓低于運(yùn)行電壓時(shí)，于顯示面中顯示在低于運(yùn)行電壓前所顯示的晶圓信息。多個(gè)信息傳輸裝置設(shè)置于多個(gè)工作站。各個(gè)晶圓載具被運(yùn)送至每一個(gè)工作站時(shí)，設(shè)置于工作站的信息傳輸裝置能傳遞更新信息，至各個(gè)晶圓載具的紅外線傳輸組件，而各個(gè)晶圓載具的電子紙顯示器，能對(duì)應(yīng)于顯示面顯示更新信息。借此可以使相關(guān)用戶于供電單元沒電時(shí)，仍可于顯示面中查看相關(guān)信息。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種晶圓載運(yùn)系統(tǒng)、晶圓載具及電子標(biāo)簽?zāi)K，特別是一種用以載運(yùn)晶圓載具的晶圓載運(yùn)系統(tǒng)、設(shè)置有電子標(biāo)簽?zāi)K的晶圓載具及用以設(shè)置于晶圓載具的電子標(biāo)簽?zāi)K。

背景技術(shù)

在晶圓制造的過程中，晶圓需要在不同的工作站之間被傳送。為了避免晶圓運(yùn)送過程中，受到外在環(huán)境影響，相關(guān)廠商多會(huì)將晶圓設(shè)置于晶圓盒中，借此使晶圓于運(yùn)送過程中不易受到外在環(huán)境影響。為了使相關(guān)設(shè)備或是人員知道晶圓盒中的晶圓的相關(guān)信息，晶圓盒的外部多會(huì)設(shè)置有一顯示單元，以對(duì)應(yīng)顯示相關(guān)信息。然，顯示單元容易有電力不足的問題，當(dāng)顯示單元電力不足時(shí)，于其畫面中將不會(huì)顯示任何信息，而相關(guān)設(shè)備或是人員將無從得知該晶圓盒的相關(guān)信息。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種晶圓載運(yùn)系統(tǒng)、晶圓載具及電子標(biāo)簽?zāi)K，用以改善現(xiàn)有技術(shù)中，晶圓載具的相關(guān)顯示單元容易發(fā)生電力不足，而使得相關(guān)設(shè)備或人員無從得知晶圓載具的相關(guān)信息的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種晶圓載運(yùn)系統(tǒng)，其包含：多個(gè)晶圓載具、一承載盒體、一電子標(biāo)簽?zāi)K及多個(gè)信息傳輸裝置。各個(gè)晶圓載具包含有：一承載盒體及一電子標(biāo)簽?zāi)K。承載盒體包含有一座體、一外殼體及一承載結(jié)構(gòu)。承載結(jié)構(gòu)與座體或外殼體相連接，承載結(jié)構(gòu)用以承載多個(gè)晶圓片，外殼體能與座體相互固定，以于承載盒體中形成一密閉空間，多個(gè)晶圓片則對(duì)應(yīng)設(shè)置于密閉空間中。電子標(biāo)簽?zāi)K設(shè)置承載盒體的外側(cè)，而不位于密閉空間中，電子標(biāo)簽?zāi)K包含：一供電單元、一紅外線傳輸組件及一電子紙顯示器(Electronic Paper,ePaper)。紅外線傳輸組件包含有一接收單元及一發(fā)送單元，接收單元及發(fā)送單元能分別獨(dú)立運(yùn)作，而紅外線傳輸組件能透過接收單元及發(fā)送單元同時(shí)進(jìn)行信息的傳輸及接收。電子紙顯示器電性連接供電單元及紅外線傳輸組件，電子紙顯示器包含有一顯示面，顯示面能對(duì)應(yīng)顯示一晶圓信息；電子紙顯示器能于供電單元提供的電壓低于一運(yùn)行電壓時(shí)，于顯示面中顯示，在低于運(yùn)行電壓前所顯示的晶圓信息。多個(gè)信息傳輸裝置設(shè)置于多個(gè)工作站；各個(gè)晶圓載具被運(yùn)送至每一個(gè)工作站時(shí)，設(shè)置于工作站的信息傳輸裝置的一信息傳遞單元能傳遞一更新信息，至各個(gè)晶圓載具的接收單元，而各個(gè)晶圓載具的電子紙顯示器，能對(duì)應(yīng)于顯示面顯示更新信息，且信息傳輸裝置的一信息接收單元能接收發(fā)送單元所傳遞的信息。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種晶圓載具，其包含：一承載盒體及一電子標(biāo)簽?zāi)K。承載盒體包含有一座體及一外殼體，座體用以承載多個(gè)晶圓片，外殼體能與座體相互固定，以于承載盒體中形成一密閉空間，多個(gè)晶圓片則對(duì)應(yīng)設(shè)置于密閉空間中。電子標(biāo)簽?zāi)K設(shè)置承載盒體的外側(cè)，而不位于密閉空間中，電子標(biāo)簽?zāi)K包含：一供電單元、一紅外線傳輸組件及一電子紙顯示器。紅外線傳輸組件包含有一接收單元及一發(fā)送單元，接收單元能與一外部設(shè)備無線連接，以接收一更新信息，接收單元及發(fā)送單元能分別獨(dú)立運(yùn)作，而紅外線傳輸組件能透過接收單元及發(fā)送單元同時(shí)進(jìn)行信息的傳輸及接收。電子紙顯示器電性連接供電單元及紅外線傳輸組件，電子紙顯示器包含有一顯示面，顯示面能對(duì)應(yīng)顯示一晶圓信息或更新信息；電子紙顯示器能于供電單元提供的電壓低于一運(yùn)行電壓時(shí)，于顯示面中顯示，在低于運(yùn)行電壓前所顯示的晶圓信息或更新信息。

優(yōu)選地，各個(gè)電子標(biāo)簽?zāi)K還包含有一處理單元，處理單元電性連接供電單元，處理單元能于供電單元提供電子紙顯示器的電壓低于運(yùn)行電壓時(shí)，控制電子紙顯示器于顯示面中顯示一低電壓警示信息。