[實(shí)用新型]一種平行光綱版曝光機(jī)的升降調(diào)平裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720959454.0
• 申請(qǐng)日: 2017-08-02
• 公開（公告）號(hào): CN206975404U
• 公開（公告）日: 2018-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江西省亞華電子材料有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種平行光綱版曝光機(jī)的升降調(diào)平裝置，包括機(jī)身(1)，其特征在于：所述機(jī)身(1)的上端設(shè)置有玻璃框(2)，玻璃框(2)的上端安裝有水平儀(3)，水平儀(3)水平安裝在玻璃框(2)的玻璃面上；所述機(jī)身(1)的底端設(shè)置有支撐調(diào)節(jié)裝置(4)，支撐調(diào)節(jié)裝置(4)的數(shù)量為四個(gè)，四個(gè)對(duì)稱安裝在機(jī)身(1)底端四個(gè)拐角處；所述支撐調(diào)節(jié)裝置(4)的上端機(jī)身(1)內(nèi)設(shè)置有承軸塊A(5)，承軸塊A(5)固定焊接在機(jī)身(1)底端上端面，承軸塊A(5)的側(cè)端與機(jī)身(1)側(cè)端固定焊接；所述支撐調(diào)節(jié)裝置(4)包括支撐架(41)和底座(42)，支撐架(41)上安裝有旋轉(zhuǎn)桿(411)，旋轉(zhuǎn)桿(411)固定焊接在支撐架(41)上；所述支撐架(41)的上端開設(shè)有外螺紋A(412)，支撐架(41)的下端開設(shè)有外螺紋B(413)；所述承軸塊A(5)的內(nèi)部開設(shè)有內(nèi)螺紋A(51)，支撐架(41)與承軸塊A(5)通過外螺紋A(412)旋接在承軸塊A(5)內(nèi)而活動(dòng)連接；所述底座(42)的上端設(shè)置有承軸塊B(43)，承軸塊B(43)固定焊接在底座(42)的上端中央；所述承軸塊B(43)的內(nèi)部中央開設(shè)有內(nèi)螺紋B(431)，支撐架(41)底端的外螺紋B(413)活動(dòng)旋接在承軸塊B(43)的內(nèi)螺紋B(431)內(nèi)；所述支撐調(diào)節(jié)裝置(4)的側(cè)端設(shè)置有L型墊塊(6)，L型墊塊(6)固定粘接在機(jī)身(1)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種平行光綱版曝光機(jī)的升降調(diào)平裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)桿(411)的上端設(shè)置有螺母(414)，螺母(414)活動(dòng)旋接在機(jī)身(1)下端的支撐架(41)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種平行光綱版曝光機(jī)的升降調(diào)平裝置，其特征在于：所述L型墊塊(6)為一種橡膠材質(zhì)構(gòu)件。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種平行光綱版曝光機(jī)的升降調(diào)平裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)桿(411)的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)旋轉(zhuǎn)桿(411)對(duì)稱安裝在支撐架(41)的兩端，兩個(gè)旋轉(zhuǎn)桿(411)的前端均安裝有橡膠把手(415)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種平行光綱版曝光機(jī)的升降調(diào)平裝置，其特征在于：所述外螺紋A(412)與內(nèi)螺紋A(51)的螺紋間距相等，外螺紋B(413)與內(nèi)螺紋B(431)的螺紋間距相等，外螺紋A(412)的螺紋間距為外螺紋B(413)的三倍。