[實用新型]激光劃片裝置有效
| 申請號： | 201720953132.5 | 申請日： | 2017-08-01 |
| 公開（公告）號： | CN207255471U | 公開（公告）日： | 2018-04-20 |
| 發明（設計）人： | 金埈煐 | 申請（專利權）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/064 | 分類號： | B23K26/064;B23K26/70 |
| 代理公司： | 隆天知識產權代理有限公司72003 | 代理人： | 黃艷,李英艷 |
| 地址： | 韓國慶*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 劃片 裝置 | ||
1.一種激光劃片裝置，其特征在于，其通過向基板發射激光束來在基板上執行劃片操作，所述激光劃片裝置包括：
激光發射單元，其接收激光束，并將激光束發射到所述基板，
其中，所述激光發射單元包括光學元件，所述光學元件能改變發射到所述基板的激光束的焦距。
2.根據權利要求1所述的激光劃片裝置，其特征在于，所述激光發射單元包括：
反射鏡，其反射沿預定方向傳播的激光束；
可變焦反射鏡，其將由所述反射鏡反射的激光束反射到所述基板，并且通過改變反射面的曲率來改變所述焦距；以及
聚光透鏡，其聚集由所述可變焦反射鏡反射的激光束。
3.根據權利要求2所述的激光劃片裝置，其特征在于，所述可變焦反射鏡所具有的反射面由呈陣列形式的多個微鏡形成，并且所述反射面的曲率通過改變所述多個微鏡的位置或角度而被改變。
4.根據權利要求2所述的激光劃片裝置，其特征在于，所述可變焦反射鏡包括：壓力室，流體被供給到所述壓力室中；反射面，其限定所述壓力室的一個表面；以及閥，其將流體供給到所述壓力室中，所述反射面的曲率根據所述壓力室中的流體的量或壓力來改變。
5.根據權利要求1所述的激光劃片裝置，其特征在于，所述激光發射單元包括：
第二反射鏡，其將激光束反射到所述基板；以及
可變焦透鏡，其位于由所述第二反射鏡反射的激光束的光路中，并且改變焦點。
6.根據權利要求5所述的激光劃片裝置，其特征在于，所述可變焦透鏡由電活性聚合物制成。
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