[實用新型]濕法清洗物載具預脫水所用提升機構

有效

• 申請號: 201720947767.4
• 申請日: 2017-07-31
• 公開（公告）號: CN207009463U
• 公開（公告）日: 2018-02-13
• 發明（設計）人: 戴國健
• 申請（專利權）人: 常州市杰洋精密機械有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙)32258
• 代理人: 鄭云

技術領域

本實用新型涉及一種濕法清洗物載具預脫水所用的提升機構。

背景技術

在濕法設備行業，尤其是在太陽能硅片槽式濕法處理設備行業中，為了使硅片快速烘干，目前通行做法是將裝有硅片的載具進行預脫水處理，其主要方法為采用提升機構，將裝有硅片的載具整體以水平狀從液體槽體內緩慢提升，以達到硅片上不存在明顯滴狀液體的目的。當通過預脫水的硅片進入烘干工序時只需要將濕氣烘干即可，不需要對滴狀難烘干液體烘干，可大大縮短烘干時間。雖然目前設備采用這種預脫水方式可以將硅片上的滴狀液體清除掉，但是裝載硅片的載具上的滴狀液體，尤其是在載具承載桿底部以及載具側板底部依然存在大量滴狀液體，其結果變成真正需要花費比較多的時間去烘干載具上的液體。隨著市場對產能的要求不斷提升，目前的烘干時間也不滿足要求了，因此通常通過增設烘干工序的數量來解決烘干時間的問題，這就造成了成本上升和能源消耗更大。

發明內容

本實用新型要解決的技術問題是：為了克服現有技術中之不足，本實用新型提供一種實現硅片或清洗物和載具整體預脫水良好效果的濕法清洗物載具預脫水所用提升機構。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種濕法清洗物載具預脫水所用提升機構，具有安裝載具的提升架，清洗完畢的清洗物置于載具上，所述的提升架兩端分別活動連接有推動提升架升降而實現載具傾斜提升以脫離清洗液面的提升件。

優選地，所述的提升件為鉸接在提升架左端的第一提升臂、鉸接在提升架右端的第二提升臂。

也可以，所述的提升件為鉸接在提升架左端的第一提升臂、連接在提升架右端的牽引繩。

或者，所述的提升件為鉸接在提升架左端的第一提升臂、活塞桿端部與提升架右端鉸接的氣缸。

本實用新型的有益效果是：本實用新型將傳統的載具水平提升改為傾斜提升，在提升過程中，使得載具的承載桿和側板底部的液體可以順著傾斜的方向脫離水面，不會因載具呈水平狀態而無處可走，在脫離水平時被拉斷，形成滴狀，從而達到硅片或清洗物和載具整體預脫水良好的效果，為后道烘干工序節省了大量的烘干時間。

附圖說明

下面結合附圖和實施方式對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型提升過程的狀態示意圖。

圖2是本實用新型所述提升件的第一種結構示意圖。

圖3是本實用新型所述提升件的第二種結構示意圖

圖4是本實用新型所述提升件的第三種結構示意圖

圖中：1.提升架 2.載具 3.清洗槽 4.第一提升臂 5.第二提升臂 6.牽引繩 7.頂升氣缸 8.旋轉關節

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

一種濕法清洗物載具預脫水所用提升機構，具有放置載具2的提升架1，清洗完畢的清洗物置于載具2上，所述的提升架1兩端分別活動連接有推動提升架1升降而實現載具2傾斜提升以脫離清洗液面的提升件。

所述的提升件第一種結構為：如圖2所示，通過旋轉關節8鉸接在提升架1左端的第一提升臂4，通過旋轉關節8鉸接在提升架1右端的第二提升臂5，所述的第一提升臂4和第二提升臂5在升降過程中始終保持豎直狀態，提升過程如圖1所示，首先，第二提升臂5上升，拉動提升架1右端上升，使提升架1上的載具2處于傾斜狀態；然后，第一提升臂4和第二提升臂5同步上升，使放置在提升架1上的載具2以傾斜狀態向上提升，脫離清洗槽3內的清洗液面，直至完成脫水過程；最后，第一提升臂4下降帶動提升架1及載具2恢復到水平狀態。上述第一提升臂4、第二提升臂5的動力均由對應安裝在第一提升臂4、第二提升臂5上的牽引機構提供，該牽引機構可選用電機帶動絲桿傳動提升，或者是電機帶動同步帶傳動提升，也可以是電機卷揚軟繩類提升及氣缸、電缸直連方式提升。

所述的提升件第二種結構為：如圖3所示，所述的提升架1左端采用旋轉關節8鉸接有第一提升臂4，提升架1右端連接有牽引繩6，其中第一提升臂4保持豎直方向可上下運動，牽引繩6可以在提升架1水平面上任意角度設置牽引方向，提升過程同第一種實施方式。

所述的提升件第三種結構為：如圖4所示，所述的提升架1左端采用旋轉關節8鉸接有第一提升臂4，提升架1右端鉸接有頂升氣缸7，頂升氣缸7活塞桿與提升架1右端鉸接，提升過程同第一種實施方式。