[實(shí)用新型]轉(zhuǎn)盤(pán)裝置及分選機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720945223.4
• 申請(qǐng)日: 2017-07-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207267680U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林廣滿;范聚吉;陳林山
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市深科達(dá)半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): B65G29/00
• 分類號(hào): B65G29/00;B65G47/91
• 代理公司: 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司44414
• 代理人: 張全文

1.一種轉(zhuǎn)盤(pán)裝置，用于吸取和放置半導(dǎo)體器件，其特征在于，包括定子組件、環(huán)繞于所述定子組件外且繞所述定子組件旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子組件、與所述轉(zhuǎn)子組件固定連接且用于驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)子組件旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)盤(pán)驅(qū)動(dòng)件以及固定于所述轉(zhuǎn)子組件外邊緣且隨所述轉(zhuǎn)子組件旋轉(zhuǎn)并用于取放所述半導(dǎo)體器件的多個(gè)吸嘴，各所述吸嘴內(nèi)部設(shè)有用于吸附所述半導(dǎo)體器件的吸嘴氣管，所述定子組件包括與外部氣壓源連通并且向外吸氣的定子管件，所述定子管件內(nèi)部具有與外部氣壓源連通的內(nèi)孔，所述定子組件的外側(cè)壁與所述轉(zhuǎn)子組件的內(nèi)側(cè)壁合圍形成與所述內(nèi)孔相連通的第一環(huán)形負(fù)壓空間，所述轉(zhuǎn)子組件于其側(cè)壁固定設(shè)置有一端與所述第一環(huán)形負(fù)壓空間相連通和另一端與各所述吸嘴氣管相接通的多個(gè)吸吹氣嘴，所述定子組件于其側(cè)壁設(shè)有與外部氣壓源連通并且供氣體進(jìn)入的多個(gè)破真空進(jìn)氣嘴以及一端與所述破真空進(jìn)氣嘴連通和另一端與所述第一環(huán)形負(fù)壓空間連通并且供氣體排出的多個(gè)破真空出氣嘴，多個(gè)所述破真空進(jìn)氣嘴與多個(gè)所述破真空出氣嘴一一對(duì)應(yīng)，各所述破真空出氣嘴呈環(huán)形間隔陣列于所述定子組件的側(cè)壁并且分別對(duì)準(zhǔn)各所述吸吹氣嘴以從所述第一環(huán)形負(fù)壓空間內(nèi)向各所述吸吹氣嘴吹氣。

2.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)盤(pán)裝置，其特征在于，所述定子組件包括套設(shè)于所述定子管件外側(cè)壁且設(shè)有所述破真空進(jìn)氣嘴和所述破真空出氣嘴的內(nèi)環(huán)體，所述轉(zhuǎn)子組件包括套設(shè)于所述內(nèi)環(huán)體外且設(shè)有所述吸吹氣嘴的外環(huán)體，所述內(nèi)環(huán)體和所述外環(huán)體之間設(shè)有供所述內(nèi)環(huán)體和所述外環(huán)體相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)的上密封軸承和下密封軸承，所述內(nèi)環(huán)體、所述外環(huán)體、所述上密封軸承和所述下密封軸承合圍形成所述第一環(huán)形負(fù)壓空間。

3.如權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)盤(pán)裝置，其特征在于，所述內(nèi)環(huán)體和所述定子管件的外側(cè)壁合圍形成第二環(huán)形負(fù)壓空間，所述定子管件于其側(cè)壁設(shè)有用于將所述內(nèi)孔與所述第二環(huán)形負(fù)壓空間連通的第一側(cè)壁通孔，所述內(nèi)環(huán)體于其側(cè)壁設(shè)有將所述第一環(huán)形負(fù)壓空間和所述第二環(huán)形負(fù)壓空間連通的第二側(cè)壁通孔。

4.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)盤(pán)裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子組件包括與所述轉(zhuǎn)盤(pán)驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)軸固定連接且由所述轉(zhuǎn)盤(pán)驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的圓盤(pán)件，各所述吸嘴固定設(shè)置于所述圓盤(pán)件的外邊緣。

5.如權(quán)利要求4所述的轉(zhuǎn)盤(pán)裝置，其特征在于，所述吸嘴包括固定設(shè)置于所述圓盤(pán)件外邊緣的吸嘴座，所述吸嘴座上設(shè)有供所述吸嘴氣管穿過(guò)的第一滑接孔，所述吸嘴氣管于其頂部設(shè)有第一堵頭，所述吸嘴還包括一端頂推所述第一堵頭和另一端頂推所述吸嘴座的第一彈性件，所述轉(zhuǎn)盤(pán)裝置還包括固定設(shè)置于所述定子組件且用于下壓所述吸嘴氣管的下壓組件。

6.如權(quán)利要求5所述的轉(zhuǎn)盤(pán)裝置，其特征在于，所述下壓組件包括與所述定子組件固定連接且設(shè)有向下延伸的第二滑接孔的安裝座、固定連接于所述安裝座上的下壓電機(jī)、固定于所述下壓電機(jī)的電機(jī)軸上且由所述下壓電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的下壓凸輪、滑動(dòng)插設(shè)于所述第二滑接孔內(nèi)且用于抵壓所述吸嘴氣管以使所述吸嘴氣管上下滑動(dòng)的下壓柱，所述下壓柱于其頂部設(shè)有第二堵頭，所述下壓組件還包括一端抵推所述第二堵頭和另一端抵推所述安裝座的第二彈性件。

7.如權(quán)利要求6所述的轉(zhuǎn)盤(pán)裝置，其特征在于，所述下壓組件還包括轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述下壓柱的頂端且與所述下壓凸輪的滾動(dòng)連接以驅(qū)動(dòng)所述下壓柱上下運(yùn)動(dòng)的滾輪。

8.如權(quán)利要求6所述的轉(zhuǎn)盤(pán)裝置，其特征在于，所述吸嘴座上設(shè)有沿平行于所述吸嘴氣管的方向延伸的第一導(dǎo)向孔，所述吸嘴還包括一端與所述吸嘴氣管固定和另一端插入所述第一導(dǎo)向孔內(nèi)且能夠于所述第一導(dǎo)向孔內(nèi)滑動(dòng)的第一導(dǎo)向柱。

9.如權(quán)利要求6所述的轉(zhuǎn)盤(pán)裝置，其特征在于，所述安裝座上設(shè)有沿平行于所述下壓柱的方向延伸的第二導(dǎo)向孔，所述下壓組件還包括一端與所述下壓柱固定和另一端插入所述第二導(dǎo)向孔內(nèi)且能夠于所述第二導(dǎo)向孔內(nèi)滑動(dòng)的第二導(dǎo)向柱。

10.一種分選機(jī)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)盤(pán)裝置。