[實用新型]管式擴散爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720936796.0
• 申請日: 2017-07-28
• 公開（公告）號: CN207353273U
• 公開（公告）日: 2018-05-11
• 發(fā)明（設計）人: 黃紀德;侯玥玥;金井升;張昕宇;金浩
• 申請（專利權）人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 11227
• 代理人: 胡素莉;李海建

1.一種管式擴散爐，其特征在于，包括：擴散爐管和加熱模塊，其中，所述加熱模塊加熱所述擴散爐管以使所述擴散爐管內(nèi)的溫度沿工藝氣體充入所述擴散爐管的方向增高；

所述加熱模塊至少為兩個，且所述加熱模塊沿所述擴散爐管的充氣方向分布，相鄰兩個所述加熱模塊的加熱溫度沿所述擴散爐管的充氣方向增高。

2.根據(jù)權利要求1所述的管式擴散爐，其特征在于，所述加熱模塊為加熱絲，且所述加熱絲纏繞于所述擴散爐管上。

3.根據(jù)權利要求1所述的管式擴散爐，其特征在于，所述擴散爐管內(nèi)的最高溫度和最低溫度的差值為1℃-20℃，所述擴散爐管內(nèi)的溫度不小于780℃且不大于800℃。

4.根據(jù)權利要求1所述的管式擴散爐，其特征在于，所述加熱模塊套設于所述擴散爐管的外側。