[實(shí)用新型]一種無(wú)損檢測(cè)用同步掃描裝置和系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720932615.7
• 申請(qǐng)日: 2017-07-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207148040U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 裘揆;張國(guó)方;李進(jìn)春;黃威
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海和伍精密儀器股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N29/04
• 分類(lèi)號(hào): G01N29/04;G01N29/26
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種無(wú)損檢測(cè)用同步掃描裝置，其特征在于：所述裝置包括：第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、檢測(cè)部件和圖像處理設(shè)備，其中：

所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿第一方向運(yùn)動(dòng)，所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿第二方向運(yùn)動(dòng)；所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)為實(shí)現(xiàn)往返直線運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)為實(shí)現(xiàn)第二方向步進(jìn)運(yùn)動(dòng)、勻速直線運(yùn)動(dòng)或變速直線運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)；

所述檢測(cè)部件與所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)中一個(gè)連接，檢測(cè)樣品則與所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)中另一個(gè)連接，所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述檢測(cè)樣品、所述檢測(cè)部件運(yùn)動(dòng)；所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)同步掃描，分別實(shí)現(xiàn)第一方向、第二方向的掃描軌跡；

所述圖像處理設(shè)備連接所述檢測(cè)部件，并將上述第一方向、第二方向的掃描軌跡合成預(yù)定的掃描軌跡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無(wú)損檢測(cè)用同步掃描裝置，其特征在于：所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)為凸輪連桿機(jī)構(gòu)、曲柄滑塊機(jī)構(gòu)、螺旋副機(jī)構(gòu)、圓柱槽凸輪機(jī)構(gòu)、凸輪連桿機(jī)構(gòu)、圓柱端面凸輪機(jī)構(gòu)、齒輪齒條機(jī)構(gòu)中任一種或多種，和/或，

所述第二運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)為水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、垂直運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一種或多種。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的無(wú)損檢測(cè)用同步掃描裝置，其特征在于：所述凸輪連桿機(jī)構(gòu)，包括：第一驅(qū)動(dòng)部件、第一凸輪、第一滾子、第一彈簧、第一連桿、第一滑動(dòng)部件和第一導(dǎo)向部件，其中：所述第一驅(qū)動(dòng)部件的輸出軸與所述第一凸輪的一側(cè)連接，所述第一連桿的一端連接所述第一滾子，所述第一連桿與所述第一滾子之間設(shè)置所述第一彈簧，所述第一彈簧使所述第一滾子與所述第一凸輪的輪廓保持接觸；所述第一導(dǎo)向部件與所述第一滑動(dòng)部件配合，所述第一滑動(dòng)部件在所述第一導(dǎo)向部件內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng)；所述檢測(cè)部件或檢測(cè)樣品與所述第一連桿連接；

所述第一驅(qū)動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)所述第一凸輪旋轉(zhuǎn)，所述第一彈簧使得所述第一滾子與所述第一凸輪接觸，帶動(dòng)所述第一連桿擺動(dòng)，所述第一連桿帶動(dòng)所述第一滑動(dòng)部件在所述第一導(dǎo)向部件內(nèi)實(shí)現(xiàn)第一方向往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述檢測(cè)部件或檢測(cè)樣品完成第一方向往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種無(wú)損檢測(cè)用同步掃描裝置，其特征在于：所述裝置進(jìn)一步包括：平衡機(jī)構(gòu)，所述平衡機(jī)構(gòu)與所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)稱布置，并與所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)方向相反，以產(chǎn)生與所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)大小相等、方向相反的作用力，從而抵消所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用力。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種無(wú)損檢測(cè)用同步掃描裝置，其特征在于：所述平衡機(jī)構(gòu)，包括：所述平衡凸輪、平衡滾子、平衡彈簧、平衡連桿、平衡滑動(dòng)部件、平衡導(dǎo)向部件以及平衡質(zhì)量塊，其中：

所述平衡凸輪與所述第一驅(qū)動(dòng)部件的輸出軸連接，且所述平衡凸輪的安裝方向與所述第一凸輪的安裝方向相反；所述平衡連桿的一端連接所述平衡滾子；所述平衡滾子、所述平衡連桿之間設(shè)置平衡彈簧，所述平衡彈簧使得所述平衡滾子與所述平衡凸輪的輪廓保持接觸；所述平衡導(dǎo)向部件與所述平衡滑動(dòng)部件配合，所述平衡滑動(dòng)部件在所述平衡導(dǎo)向部件內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng)；所述平衡質(zhì)量塊與所述平衡連桿連接；

所述第一驅(qū)動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)所述平衡凸輪旋轉(zhuǎn)，所述平衡彈簧使得所述平衡滾子與所述平衡凸輪接觸，并帶動(dòng)所述平衡連桿擺動(dòng)，所述平衡連桿帶動(dòng)所述平衡滑動(dòng)部件在所述平衡導(dǎo)向部件內(nèi)實(shí)現(xiàn)往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述平衡質(zhì)量塊完成往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種無(wú)損檢測(cè)用同步掃描裝置，其特征在于：所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)，包括第一驅(qū)動(dòng)部件、第一曲柄、第一連桿、第一滑動(dòng)部件和第一導(dǎo)向部件，其中：所述第一驅(qū)動(dòng)部件的輸出端與所述第一曲柄的一端連接，所述第一連桿的一端與所述第一曲柄的另一端連接，所述第一連桿的另一端與所述第一滑動(dòng)部件連接；所述第一導(dǎo)向部件與所述第一滑動(dòng)部件配合，所述第一滑動(dòng)部件在所述第一導(dǎo)向部件內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng)；所述檢測(cè)部件或檢測(cè)樣品與所述第一滑動(dòng)部件連接；

所述第一驅(qū)動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)所述第一曲柄旋轉(zhuǎn)，所述第一曲柄帶動(dòng)所述第一連桿擺動(dòng)，所述第一連桿帶動(dòng)所述第一滑動(dòng)部件在所述第一導(dǎo)向部件內(nèi)做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)固定在所述第一滑動(dòng)部件上的所述檢測(cè)部件或檢測(cè)樣品完成第一方向往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種無(wú)損檢測(cè)用同步掃描裝置，其特征在于：所述裝置進(jìn)一步包括：平衡機(jī)構(gòu)，所述平衡機(jī)構(gòu)與所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)稱布置，并與所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)方向相反，以產(chǎn)生與所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)大小相等、方向相反的作用力，從而抵消所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用力。