[實用新型]基于凸輪連桿機構實現快速同步掃描的裝置

有效

• 申請號: 201720932351.5
• 申請日: 2017-07-28
• 公開（公告）號: CN207148074U
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發明（設計）人: 李進春;張國方;裘揆;黃威
• 申請（專利權）人: 上海和伍精密儀器股份有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于凸輪連桿機構實現快速同步掃描的裝置，其特征在于：所述裝置包括：第一運動機構、第二運動機構和檢測部件，其中：

所述第一運動機構沿第一方向做往復直線運動，所述第二運動機構沿第二方向運動；所述檢測部件與所述第一運動機構、所述第二運動機構中一個連接，檢測樣品則與所述第一運動機構、所述第二運動機構中另一個連接，所述第一運動機構、所述第二運動機構帶動所述檢測樣品、所述檢測部件實現第一方向往復直線運動、第二方向運動；所述第一運動機構與所述第二運動機構同步掃描，合成預定的掃描軌跡；

所述第一運動機構為凸輪連桿機構，包括：第一驅動部件、第一凸輪、第一滾子、第一彈簧、第一連桿、第一滑動部件和第一導向部件，其中：所述第一驅動部件的輸出軸與所述第一凸輪的一側連接，所述第一連桿的一端連接所述第一滾子，所述第一連桿與所述第一滾子之間設置所述第一彈簧，所述第一彈簧使所述第一滾子與所述第一凸輪的輪廓保持接觸；所述第一導向部件與所述第一滑動部件配合，所述第一滑動部件在所述第一導向部件內往復運動；所述檢測部件或檢測樣品與所述第一連桿連接。

2.根據權利要求1所述的基于凸輪連桿機構實現快速同步掃描的裝置，其特征在于：所述第一驅動部件驅動所述第一凸輪旋轉，所述第一彈簧使得所述第一滾子與所述第一凸輪接觸，帶動所述第一連桿擺動，所述第一連桿帶動所述第一滑動部件在所述第一導向部件內實現第一方向往復直線運動，進而帶動所述檢測部件或檢測樣品完成第一方向往復直線運動。

3.根據權利要求1所述的基于凸輪連桿機構實現快速同步掃描的裝置，其特征在于：所述第二運動機構為實現第二方向步進運動、勻速直線運動或變速直線運動的裝置，所述第二運動機構帶動所述檢測樣品或檢測部件實現第二方向步進運動、勻速直線運動或變速直線運動。

4.根據權利要求3所述的基于凸輪連桿機構實現快速同步掃描的裝置，其特征在于：所述第二運動機構包括：第二驅動部件和水平轉盤，其中：

所述第二驅動部件連接所述水平轉盤并驅動所述水平轉盤，所述水平轉盤在水平面內進行第二方向步進運動、勻速圓周運動或變速圓周運動，所述檢測樣品放置在所述水平轉盤上并隨所述水平轉盤在水平面內做第二方向步進運動、勻速圓周運動或變速圓周運動。

5.根據權利要求3所述的基于凸輪連桿機構實現快速同步掃描的裝置，其特征在于：所述第二運動機構包括：第三驅動部件和垂直轉盤，其中：

所述第三驅動部件連接所述垂直轉盤并驅動所述垂直轉盤，所述垂直轉盤在豎直面內進行第二方向步進運動、勻速圓周運動或變速圓周運動，所述檢測樣品放置在所述垂直轉盤上并隨所述垂直轉盤在豎直面內做第二方向步進運動、勻速圓周運動或變速圓周運動。

6.根據權利要求1所述的基于凸輪連桿機構實現快速同步掃描的裝置，其特征在于：所述裝置進一步包括支撐部件，所述支撐部件用于連接和支撐所述第一運動機構、所述第二運動機構。

7.根據權利要求1-6任一項所述的基于凸輪連桿機構實現快速同步掃描的裝置，其特征在于：所述裝置進一步包括平衡機構，所述平衡機構與所述第一運動機構對稱布置，并與所述第一運動機構運動方向相反，以產生與所述第一運動機構大小相等、方向相反的作用力，從而抵消所述第一運動機構的作用力。

8.根據權利要求7所述的基于凸輪連桿機構實現快速同步掃描的裝置，其特征在于：所述平衡機構包括：平衡凸輪、平衡滾子、平衡彈簧、平衡連桿、平衡滑動部件、平衡導向部件以及平衡質量塊，其中：

所述平衡凸輪與所述第一驅動部件的輸出軸連接，且所述平衡凸輪的安裝方向與所述第一凸輪的安裝方向相反；所述平衡連桿的一端連接所述平衡滾子；所述平衡滾子、所述平衡連桿之間設置平衡彈簧，所述平衡彈簧使得所述平衡滾子與所述平衡凸輪的輪廓保持接觸；所述平衡導向部件與所述平衡滑動部件配合，所述平衡滑動部件在所述平衡導向部件內往復運動；所述平衡質量塊與所述平衡連桿連接。

9.根據權利要求8所述的基于凸輪連桿機構實現快速同步掃描的裝置，其特征在于：所述第一驅動部件驅動所述平衡凸輪旋轉，所述平衡彈簧使得所述平衡滾子與所述平衡凸輪接觸，并帶動所述平衡連桿擺動，所述平衡連桿帶動所述平衡滑動部件在所述平衡導向部件內實現往復直線運動，進而帶動所述平衡質量塊完成往復直線運動。

10.根據權利要求8所述的基于凸輪連桿機構實現快速同步掃描的裝置，其特征在于：所述第一滑動部件和所述平衡滑動部件均為滑塊；和/或，

所述第一導向部件和所述平衡導向部件均為導軌。