[實用新型]一種均勻噴水的掩膜覆蓋裝置有效
| 申請號： | 201720932081.8 | 申請日： | 2017-07-28 |
| 公開（公告）號： | CN207170040U | 公開（公告）日： | 2018-04-03 |
| 發明（設計）人： | 任壯 | 申請（專利權）人： | 潤峰電力有限公司 |
| 主分類號： | B05B1/14 | 分類號： | B05B1/14;B05B12/08;H01L31/18;G01F23/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 272000 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 均勻 噴水 覆蓋 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種均勻噴水的掩膜覆蓋裝置，其特征在于包括封閉式方形儲液箱，所述封閉式方形儲液箱頂部設置有進液孔，所述封閉式方形儲液箱底部規則排列有若干出液孔，所述出液孔內安裝有開關閥門，所述封閉式方形儲液箱側端還安裝有液位傳感器。
2.根據權利要求1所述的一種均勻噴水的掩膜覆蓋裝置，其特征在于所述進液孔通過進液管道與液體源連通。
3.根據權利要求1所述的一種均勻噴水的掩膜覆蓋裝置，其特征在于所述開關閥門為氣動閥門。
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