[實用新型]一種新型石英晶振片

有效

• 申請號: 201720926603.3
• 申請日: 2017-07-27
• 公開（公告）號: CN207265991U
• 公開（公告）日: 2018-04-20
• 發明（設計）人: 陳愿勤;蔡婷;李永芳
• 申請（專利權）人: 中山泰維電子有限公司
• 主分類號: H03H9/19
• 分類號: H03H9/19
• 代理公司: 中山市銘洋專利商標事務所(普通合伙)44286
• 代理人: 鄒常友

技術領域

本實用新型涉及一種晶振片，特別是一種新型石英晶振片。

背景技術

隨著科技的發展和提高，真空鍍膜技術在越來越多的領域使用，如何監控積淀的膜厚，目前主要采用石英晶體振蕩監控法。石英晶體法監控膜厚，主要是利用了石英晶體的壓電效應和質量負荷效應，當晶振片上鍍了某種膜層，使晶振片的厚度增加，則晶振片的固有頻率會相應的變化，從而我們可以根據變化的頻率計算出相應的膜厚。

晶振片的基片來源于石英塊，經過反復的切割和研磨做成薄薄的 圓片，每個圓片經拋光和清洗，最后鍍上金屬電極。晶振片在測試膜厚的過程中，膜料會沉積在晶振片表面而形成應力，沉積越厚應力越大，從而會影響晶振片的工作穩定性和壽命，直致晶振片無法工作，而以前的晶振片的振動頻率大都是6兆或是5兆的，對應力的承受能力低，因而為了滿足技術的發展及客戶的需求，我們需要設計一種能承受高應力、而且具有很好的穩定性、可靠性及低阻抗、使用壽命長的晶振片。

發明內容

為了克服現有技術的不足，本實用新型提供一種新型石英晶振片。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種新型石英晶振片，其特征在于：包括石英基片及通過蒸鍍或者濺射覆蓋于石英基片上的金屬層，所述石英基片的厚度為H:0.43 mm -0.455mm，直徑為D：12.3 mm -12.5mm，且該石英基片一面為平面，另一面為凸圓弧面，該凸圓弧面的半徑為R：80 mm -120 mm。

所述石英基片邊緣倒有圓弧角，該圓弧角半徑為r：7 mm -13 mm。

所述凸圓弧面的半徑R為：90 mm -100 mm。

所述金屬層包括與石英基片直接接觸的鎘層及鎘層上的金導電層。

所述金屬層為由先鍍在底面的鋁導電層和后鍍在鋁層上的金導電層混合而成的金鋁合金鍍層。

本實用新型的有益效果是：本實用新型包括石英基片及通過蒸鍍或者濺射覆蓋于石英基片上的金屬層，所述且該石英基片一面為平面，另一面為凸圓弧面，本石英基片的厚度增加了，厚度為H:0.43 mm -0.455mm，而且根據厚度我們匹配了石英基片的直徑為D：12.3 mm -12.5mm，因而晶振片對應力的承受能力大大加強了，而且保證了晶振片的穩定性，而且通過蒸鍍或者濺射將金屬層鍍在石英基片上，這樣金屬層的金屬質量及厚度容易控制準確，石英基片的一面是平面另一面是凸圓弧面，凸圓弧面的半徑為R：80 mm -120 mm，這樣的設計能夠大幅度抑制主振動模以外的雜散振動模式，從而減少沉積速率和膜厚控制過程中可能發生的頻率跳變現象，而且阻抗低、穩定性好。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的橫截面示意圖；

圖2是本實用新型的俯視示意圖。

具體實施方式

參照圖1、圖2，本實用新型公開了一種新型石英晶振片，包括石英基片1及通過磁控濺射覆蓋于石英基片1上的金屬層2，所述石英基片1的厚度為H：0.43mm -0.455mm，直徑為D：12.3 mm -12.5mm，且該石英基片1一面為平面，另一面為凸圓弧面，該凸圓弧面的半徑為R：80 mm -120 mm，R值優選：90 mm -100 mm，這樣效果會更好。

如圖所示，石英基片1邊緣倒有圓弧角，該圓弧角半徑為r：7 mm -13 mm，因為石英基片1的厚度增加了，而凸圓弧面的邊緣不能覆蓋到石英基片1的下邊沿，因而石英基片1的下邊沿不是圓弧形，其阻抗高，因而我們需要將其倒角為圓弧形，從而減小阻抗。

本金屬層2一種結構是由鎘層與金導電層構成，鎘層與石英基片1直接接觸，金導電層鍍于鎘層上，因為鎘與石英基片1附著性好，這樣能夠提高晶振片的穩定性，增加電極膜與石英晶片的附著強度。

本金屬層2另一種結構是金屬層2為由先鍍在底面的鋁導電層和后鍍在鋁層上的金導電層混合而成的金鋁合金鍍層，通過磁控濺射生產工藝將金材料濺射在鋁層融合形成金鋁合金鍍層，金鋁合金鍍層具有以下優點：抗氧化性能好；既適應低應力膜料又適應高應力膜料的鍍膜，硬度高，不易出現刮痕 ；壽命值更長。

以上對本實用新型實施例所提供的一種新型石英晶振片，進行了詳細介紹，本文中應用了具體個例對本實用新型的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本實用新型的方法及其核心思想；同時，對于本領域的一般技術人員，依據本實用新型的思想，在具體實施方式及應用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內容不應理解為對本實用新型的限制。