[實用新型]透射測溫探測器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720924190.5 | 申請日： | 2017-07-27 |
| 公開（公告）號： | CN207095731U | 公開（公告）日： | 2018-03-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 塞繆爾·C·豪厄爾斯 | 申請（專利權(quán)）人： | 應(yīng)用材料公司 |
| 主分類號： | G01K11/32 | 分類號： | G01K11/32 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金國,趙靜 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 透射 測溫 探測器 | ||
1.一種透射測溫探測器，其特征在于包括：
探測器歧管，所述探測器歧管用以探測來自腔室主體中的處理區(qū)附近的輻射；
輻射探測器，所述輻射探測器光耦合至所述探測器歧管；以及
光譜多陷波濾波器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射測溫探測器，其特征在于所述探測器歧管在所述腔室主體中包括多個高溫計探頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的透射測溫探測器，其特征在于所述探測器歧管包括多個光學(xué)開關(guān)，其中所述多個高溫計探頭的子集光耦合至每個光學(xué)開關(guān)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射測溫探測器，其特征在于所述輻射探測器附接至所述腔室主體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射測溫探測器，其特征在于所述光譜多陷波濾波器在兩個光譜帶中傳輸輻射，每個光譜帶具有在10nm與15nm之間的帶寬。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射測溫探測器，其特征在于所述輻射探測器包括：
衍射光柵，
柱面透鏡，以及
探測器陣列。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的透射測溫探測器，其特征在于所述探測器陣列包括砷化銦鎵線性探測器陣列。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射測溫探測器，其特征在于所述輻射探測器包括掃描光探測器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射測溫探測器，其特征在于所述輻射探測器包括光纖光譜儀。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射測溫探測器，其特征在于所述探測器歧管具有鄰近所述處理區(qū)并跨所述處理區(qū)分配的多個輻射入口。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射測溫探測器，其特征在于所述輻射探測器被配置成測量作為所述透射輻射的波長的函數(shù)的功率。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射測溫探測器，其特征在于進一步包括光耦合至所述探測器歧管的多個輻射探測器。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的透射測溫探測器，其特征在于所述光譜多陷波濾波器在所述處理區(qū)與所述探測器歧管之間。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射測溫探測器，其特征在于所述探測器歧管包括分光器和光組合器的至少一個。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射測溫探測器，其特征在于所述探測器歧管包括多個高溫計探頭和用于每個高溫計探頭的光譜儀。
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