[實用新型]一種膜厚量測設備

有效

• 申請號: 201720917264.2
• 申請日: 2017-07-26
• 公開（公告）號: CN206919845U
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發明（設計）人: 趙敏敏;楊檔;朱剛;魏少琦
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 北京布瑞知識產權代理有限公司11505
• 代理人: 孟潭

技術領域

本實用新型涉及顯示技術領域，具體涉及一種膜厚量測設備。

背景技術

在顯示產品工藝制程中，經常會使用光學方法量測透明或半透明薄膜厚度，它主要利用橢圓偏振等光學原理，通過光譜擬合公式計算得出膜厚。這種方法與樣品非接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空，但薄膜樣品的表面狀態以及膜層的非均勻性和吸收狀態均對量測有較大影響，使得量測結果與實際膜厚存在一定偏差。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型實施例致力于提供一種膜厚量測設備，以解決現有技術中的設備測量結果與實際膜厚存在偏差從而導致的測量準確率較低的問題。

本實用新型實施例提供的一種膜厚量測設備包括移動裝置、與移動裝置連接的測厚模塊，以及驅動裝置；測厚模塊通過驅動裝置和/或移動裝置移動；測厚模塊包括非接觸式測厚模塊與接觸式測厚模塊，并通過接觸式測厚模塊測量的數據對非接觸式測厚模塊測量的數據實現補償。

在一個實施例中，驅動裝置與測厚模塊和/或移動裝置連接，驅動測厚模塊和/或移動裝置移動。

在一個實施例中，移動裝置包括移動導軌、及與移動導軌連接的第一支架和第二支架，測厚模塊分別與第一支架、第二支架連接；驅動裝置包括第一驅動裝置和第二驅動裝置，其中，第一驅動裝置與移動裝置連接，移動裝置在第一驅動裝置的驅動下沿移動導軌移動，第二驅動裝置與測厚模塊連接，測厚模塊在第二驅動裝置的驅動下運動。

在一個實施例中，測厚模塊與第一支架、第二支架間通過坦克鏈連接。

在一個實施例中，移動導軌包括第一部分和第二部分，第一部分和第二部分分別固定于承載臺相對的兩側，第一支架和第二支架的兩端分別與第一部分和第二部分之間通過滑動或滾動連接。

在一個實施例中，移動裝置包括移動導軌、及與移動導軌連接的第一支架和第二支架，測厚模塊分別與第一支架、第二支架連接；驅動裝置與移動裝置連接，驅動移動裝置沿移動導軌移動。

在一個實施例中，非接觸式測厚模塊為光學模塊。

在一個實施例中，光學模塊為橢偏儀。

在一個實施例中，接觸式測厚模塊為電學模塊。

在一個實施例中，電學模塊為臺階儀。

本實用新型實施例提供的膜厚量測設備利用接觸式量測結果非常精確及非接觸式量測與樣品非接觸、不需要真空環境且量測速度快等優點，將接觸式測厚模塊與非接觸式測厚模塊結合起來，分別實現對樣品的厚度測量，然后將接觸式量測結果對非接觸式量測結果進行補償運算，不需要繁瑣的制樣過程，即可得出實際的膜厚結果，既保證了量測的準確性，減少了對膜層的損傷，又節約了量測時間。另外，因非接觸式測厚模塊可為光學模塊，使得該設備可根據光學量測在同種光學模型下其結果與實際膜厚具有定量偏差的特性，在同種光學模型只需要進行一次補償值運算，再將這個補償值直接加到同一光學模型下的其他光學量測結果上即可得到對應的實際膜厚結果，操作簡便，重復性較好。

附圖說明

圖 1所示為本實用新型一實施例提供的一種膜厚量測設備的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

本實用新型實施例提供了一種膜厚量測設備，包括移動裝置、與移動裝置連接的測厚模塊，以及驅動裝置。測厚模塊通過驅動裝置和/或移動裝置移動，該測厚模塊具體包括非接觸式測厚模塊與接觸式測厚模塊，并通過接觸式測厚模塊測量的數據對非接觸式測厚模塊測量的數據實現補償。

在本實用新型一實施例中，驅動裝置與測厚模塊和/或移動裝置連接，驅動測厚模塊和/或移動裝置移動，也就是說驅動裝置既可與測厚模塊和移動裝置分別連接，實現對測厚模塊和移動裝置的分別驅動，也可只驅動移動裝置運動，由移動裝置帶動測厚模塊移動。