[實用新型]一種不積水的拋光頭

有效

• 申請號: 201720904612.2
• 申請日: 2017-07-24
• 公開（公告）號: CN207139536U
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發明（設計）人: 趙德文;路新春;陳祥玉
• 申請（專利權）人: 清華大學;天津華海清科機電科技有限公司
• 主分類號: B24B37/11
• 分類號: B24B37/11
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙)11201
• 代理人: 黃德海

1.一種不積水的拋光頭，其特征在于，包括：

夾片組件；

蓋體，所述蓋體可移動地安裝在所述夾片組件上且與所述夾片組件之間限定出容納腔；

基體，所述基體可上下移動地安裝在夾片組件上且位于所述容納腔內，所述基體與所述蓋體緊密相連；

膜片，所述膜片分別與所述夾片組件和所述基體相連，且限定出密閉的腔室。

2.根據權利要求1所述的不積水的拋光頭，其特征在于，所述基體與所述蓋體的內頂壁面配合連接。

3.根據權利要求2所述的不積水的拋光頭，其特征在于，所述基體包括：

中軸部，軸孔沿上下方向貫通所述中軸部，所述蓋體的中心設有通孔，所述中軸部的上端穿過所述通孔；

外環部，所述外環部圍繞所述中軸部設置，所述外環部與所述蓋體通過螺栓相連。

4.根據權利要求1所述的不積水的拋光頭，其特征在于，所述夾片組件的上表面設有第二凹槽和部分位于所述蓋體內的壓蓋，所述蓋體在上下移動時與所述壓蓋至少有一部分相重合。

5.根據權利要求4所述的不積水的拋光頭，其特征在于，所述壓蓋與所述夾片組件之間設有第一密封圈。

6.根據權利要求3所述的不積水的拋光頭，其特征在于，所述外環部的上表面和所述蓋體的內頂面中的一個上設有第二密封圈。

7.根據權利要求3所述的不積水的拋光頭，其特征在于，所述中軸部的外周面與所述通孔的內周壁緊密貼合。

8.根據權利要求1-7中任一項所述的不積水的拋光頭，其特征在于，所述蓋體包括：

頂蓋，所述基體與所述頂蓋緊密相連；

圍板，所述圍板圍繞所述頂蓋設置且從所述頂蓋的外周沿向下延伸。

9.根據權利要求8所述的不積水的拋光頭，其特征在于，所述頂蓋水平設置。

10.根據權利要求9所述的不積水的拋光頭，其特征在于，所述頂蓋與所述圍板之間通過圓弧部相連。

11.根據權利要求9所述的不積水的拋光頭，其特征在于，所述頂蓋與所述圍板之間通過傾斜部相連。

12.根據權利要求8所述的不積水的拋光頭，其特征在于，所述頂蓋沿從其中心處向所述圍板處的方向逐漸向下傾斜地設置。