[實用新型]一種直板型實用化射頻MEMS開關有效
| 申請號： | 201720897713.1 | 申請日： | 2017-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN207199540U | 公開（公告）日： | 2018-04-06 |
| 發明（設計）人： | 李孟委;劉秋慧;張一飛;吳倩楠;王莉 | 申請（專利權）人： | 中北大學 |
| 主分類號： | H01H59/00 | 分類號： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 深圳市興科達知識產權代理有限公司44260 | 代理人： | 楊小東 |
| 地址： | 030051*** | 國省代碼： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 直板型 實用 射頻 mems 開關 | ||
1.一種直板型實用化射頻MEMS開關，其特征在于，所述開關包括：
襯底，所述襯底為表面具有微波傳輸線的基座承載體；
上電極，所述上電極為長方形結構，所述上電極固定端通過固定錨點固定在微波傳輸線上，所述上電極中部及另一端延伸于所述襯底水平上方；
下電極，所述下電極上表面設置有單觸點，所述單觸點置于所述上電極的另一端下方，所述單觸點形狀包括但不限于長方體、半球體或圓錐體；
驅動電極，所述驅動電極設置在襯底上表面中心處，所述驅動電極置于所述上電極下方，所述上電極對應所述驅動電極的位置處開設有釋放孔陣列；
所述上電極通過固定錨點固定在信號線上，下電極通過信號線固定在所述襯底上；
所述釋放孔陣列包括多個呈陣列狀布置的釋放孔；
所述釋放孔陣列包括3-4排，按照所述信號線的長度方向排列，任意一排的釋放孔數量為6-10個；
所述釋放孔直徑大小為6-10μm，每排或每列任意相鄰的兩個釋放孔之間間距為10-20μm。
2.根據權利要求1所述的一種直板型實用化射頻MEMS開關，其特征在于，所述上、下電極的一側設置有空氣橋；
所述空氣橋兩端分別連接有地線。
3.根據權利要求2所述的一種直板型實用化射頻MEMS開關，其特征在于，所述上、下電極的另一側設置有另一地線。
4.根據權利要求2所述的一種直板型實用化射頻MEMS開關，其特征在于，所述空氣橋及上電極固定端均通過所述固定錨點設置在微波傳輸線上。
5.根據權利要求1所述的一種直板型實用化射頻MEMS開關，其特征在于，所述襯底的材料為玻璃、陶瓷和高阻硅。
6.根據權利要求1所述的一種直板型實用化射頻MEMS開關，其特征在于，所述信號線接近所述驅動電極一端平齊延伸出所述下電極，所述下電極朝向所述上電極表面固定設置所述單觸點。
7.根據權利要求2或3之一所述的一種直板型實用化射頻MEMS開關，其特征在于，所述信號線、地線均為長方體，并兩條所述地線等距分別設置在所述信號線的兩側。
8.根據權利要求4所述的一種直板型實用化射頻MEMS開關，其特征在于，在所述地線與所述驅動電極距離最短的位置處設置所述空氣橋。
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