[實用新型]一種取晶、固晶裝置及其采用它的固晶機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720895939.8
• 申請日: 2017-07-21
• 公開（公告）號: CN207217478U
• 公開（公告）日: 2018-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王敕;戴泳雄
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇艾科瑞思封裝自動化設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 蘇州華博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司32232
• 代理人: 孫艷

1.一種取晶、固晶裝置，其特征在于，包括:

固晶臺，所述固晶臺沿X、Y方向運動，所述固晶臺上嵌設(shè)有平面治具座，所述平面治具座與所述固晶臺平齊，所述平面治具座連接有加熱裝置；

轉(zhuǎn)臂，所述轉(zhuǎn)臂設(shè)有沿平行于所述轉(zhuǎn)臂的旋轉(zhuǎn)軸線來回運動的焊頭，所述焊頭用于取晶和固晶；

基板，所述基板位于所述固晶臺上方且相對于所述固晶臺沿X方向作進(jìn)給運動；

第一驅(qū)動裝置，所述第一驅(qū)動裝置與所述轉(zhuǎn)臂連接，用于驅(qū)動所述轉(zhuǎn)臂圓周轉(zhuǎn)動；

晶圓臺和晶圓臺驅(qū)動裝置，所述晶圓臺用于固定晶圓，所述晶圓臺驅(qū)動裝置用于驅(qū)動所述晶圓臺沿X、Y方向運動以及驅(qū)動所述晶圓臺繞其旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種取晶、固晶裝置，其特征在于，還包括第一視覺定位裝置和第二視覺定位裝置，所述第一視覺定位裝置固定于所述晶圓臺上方，所述第二視覺定位裝置固定于所述平面治具座上方。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種取晶、固晶裝置，其特征在于，所述平面治具座的四個角附近設(shè)有階梯孔，所述階梯孔內(nèi)安裝有調(diào)平螺絲和彈簧，所述彈簧套設(shè)于所述調(diào)平螺絲上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種取晶、固晶裝置，其特征在于，所述焊頭為一伸縮式結(jié)構(gòu)，焊頭包括第一連接桿、套筒、第二連接桿和壓簧，第一連接桿與套筒滑動連接，第二連接桿穿設(shè)于套筒內(nèi)且與套筒固定連接，壓簧一端與第一連接桿連接，壓簧的另一端與第二連接桿的一端連接，第一連接桿的周向設(shè)有凹槽，套筒內(nèi)壁設(shè)有導(dǎo)向凸起，凹槽與導(dǎo)向凸起配合，氣管插入第一連接桿和第二連接桿中并與吸嘴連接,氣管連接有真空發(fā)生器。

5.固晶機(jī)，包括基板上料裝置、點膠裝置，其特征在于，還包括如權(quán)利要求1-4任一所述的一種取晶、固晶裝置。