[實用新型]一種測試樣品的制備裝置

有效

• 申請號: 201720890630.X
• 申請日: 2017-07-21
• 公開（公告）號: CN207351771U
• 公開（公告）日: 2018-05-11
• 發明（設計）人: 李琰琪;王栩生;蔣方丹;邢國強
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本實用新型公開了一種測試樣品的制備裝置，包括平臺、定位組件和切割組件，平臺設置有鏤空區；定位組件包括設置于鏤空區上方的定位環，鏤空區、定位環的內側形狀和大小均與待制備的測試樣品相適應；切割組件能夠沿定位環在工件上的投影區域進行切割，以獲取測試樣品。測試樣品落入鏤空區，防止測試樣品混入工件的碎片中難以分辨。定位環與樣品區域對齊，可以確保待制備的測試樣品定位準確。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池技術領域，尤其涉及一種測試樣品的制備裝置。

背景技術

掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope，SEM)簡稱掃描電鏡，是一種利用電子束掃描樣品表面從而獲得樣品信息的電子顯微鏡。它能產生樣品表面的高分辨率圖像，且圖像呈三維，掃描電子顯微鏡能被用來鑒定樣品的表面結構。它具有樣品制備簡單、分辨率高、綜合分析能力強等特點。

目前，掃描電鏡廣泛應用于各類材料的表面和截面微觀分析，尤其是太陽能電池領域,掃描電鏡是硅片和太陽能電池不可缺少的測試工具。在制備測試樣品時，一般通過工作人員手動裂片的方式，將硅片或太陽能電池片掰成合適的測試樣品；或是利用重物將硅片或太陽能電池片砸碎，將碎片作為測試樣品。這兩者制備方式中，前者對工作人員的操作經驗要求較高，而且容易污染樣品，影響測試結果；后者在制備過程中，容易崩飛硅片或太陽能電池片的碎片，誤傷工作人員，且選取的測試樣品容易崩飛混雜在碎片中，難以挑選。

現有技術中測試樣品的制備方式不規范，且制備的測試樣品粗糙，無法精確定位硅片或太陽能電池片中樣品的位置，因此，亟需一種測試樣品的制備裝置，降低測試樣品的制備難度，提高測試樣品的質量。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提出一種測試樣品的制備裝置，可以精確定位樣片在工件的位置，避免制備過程中碎片飛濺，誤傷工作人員。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種測試樣品的制備裝置，包括：

平臺，所述平臺設置有鏤空區；

定位組件，所述定位組件包括設置于所述鏤空區上方的定位環，所述鏤空區、所述定位環的內側形狀和大小均與待制備的測試樣品相適應；

切割組件，所述切割組件能夠沿所述定位環在所述工件上的投影區域進行切割，以獲取測試樣品。

其中，還包括固定組件，所述固定組件用于將工件固定于所述平臺，并使所述工件上的樣品區域位于所述鏤空區的上方；

其中，所述固定組件包括真空泵，所述平臺的非鏤空區設置有真空吸孔，所述真空吸孔與所述真空泵連通，用于將工件固定于所述平臺。

其中，所述真空吸孔的數量為多個，多個所述真空吸孔均布于所述非鏤空區。

其中，所述鏤空區的下方設置有盛放制備的測試樣品的容納盒。

其中，所述容納盒與所述平臺的底面可拆卸連接。

其中，所述定位環與所述平臺的距離為300μm～400μm。

其中，所述定位組件還包括固定于所述平臺的支架，所述定位環與所述支架連接并能夠沿所述支架上下移動。

其中，所述鏤空區的數量為多個，且多個所述鏤空區的形狀和/或大小不同，每個所述鏤空區對應設置有一個所述容納盒以及一個所述定位環，對應的所述定位環的內側與所述鏤空區的形狀及大小相同。

其中，所述切割組件包括驅動機構和操作機構，所述驅動機構與所述操作機構連接，并驅動所述操作機構制備待制備的測試樣品。

其中，所述操作機構包括環形金剛刀，所述環形金剛刀的截面形狀及大小與待制備的測試樣品的形狀及大小相同。