[實(shí)用新型]帶電量測(cè)定裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720884995.1
• 申請(qǐng)日: 2017-07-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207301186U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 巖井正寬
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州住友電木有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R29/24
• 分類(lèi)號(hào): G01R29/24
• 代理公司: 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司31300
• 代理人: 劉煜

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種帶電量測(cè)定裝置。

背景技術(shù)

利用密封樹(shù)脂來(lái)密封半導(dǎo)體芯片的半導(dǎo)體裝置具有利用樹(shù)脂密封半導(dǎo)體芯片的構(gòu)造。半導(dǎo)體裝置的可靠性中包括各種指標(biāo)。

(實(shí)用新型所要解決的課題)

半導(dǎo)體裝置的可靠性的一種指標(biāo)包括靜電的易存留度。在靜電容易存留時(shí)，半導(dǎo)體的可靠性容易降低。因此，在密封半導(dǎo)體裝置的密封樹(shù)脂中，需要測(cè)定靜電的易存留度。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的課題在于提供一種測(cè)定密封樹(shù)脂的易帶電程度的測(cè)定裝置。

(用于解決技術(shù)課題的手段)

利用本實(shí)用新型，提供一種帶電量測(cè)定裝置，具有：

使半導(dǎo)體芯片帶靜電的帶電裝置；以及

測(cè)定利用所述帶電裝置帶電的所述半導(dǎo)體芯片的帶電量的測(cè)定裝置，

所述帶電裝置，具有：

載置被測(cè)定物的載置臺(tái)，所述被測(cè)定物的至少上表面是密封半導(dǎo)體芯片的密封樹(shù)脂；以及

靜電產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，該靜電產(chǎn)生機(jī)構(gòu)通過(guò)與載置于所述載置臺(tái)的所述被測(cè)定物的所述上表面沿垂直于所述被測(cè)定物的所述上表面的方向反復(fù)接觸而在所述被測(cè)定物產(chǎn)生靜電。

實(shí)用新型的效果

根據(jù)本實(shí)用新型，能夠提供一種測(cè)定密封樹(shù)脂的易帶電程度的測(cè)定裝置。

附圖說(shuō)明

圖1是表示第一實(shí)施方式的帶電裝置的結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是表示第二實(shí)施方式的帶電量測(cè)定裝置的結(jié)構(gòu)的圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

10被測(cè)定物

20帶電量測(cè)定裝置

100 帶電裝置

110 載置臺(tái)

112 移動(dòng)機(jī)構(gòu)

120 靜電產(chǎn)生機(jī)構(gòu)

122 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)

124 臂部

126 接觸部件

128 移動(dòng)機(jī)構(gòu)

130 控制部

200 測(cè)定裝置

210 帶電傳感器

220 距離傳感器

222 移動(dòng)機(jī)構(gòu)

224 框架

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此外，在所有附圖中，對(duì)同樣結(jié)構(gòu)要素標(biāo)注同樣的附圖標(biāo)記，并省略適當(dāng)說(shuō)明。

(第一實(shí)施方式)

圖1是表示第一實(shí)施方式的帶電裝置100的結(jié)構(gòu)的圖。帶電裝置100用于測(cè)定被測(cè)定物10的易帶電程度。被測(cè)定物10是例如半導(dǎo)體裝置，包括利用密封樹(shù)脂密封半導(dǎo)體芯片的結(jié)構(gòu)。在該情況下，被測(cè)定物10在下表面或側(cè)面具有端子。另外，被測(cè)定物10也可以是在密封半導(dǎo)體芯片時(shí)所使用的密封樹(shù)脂單體，即也可以是不包含半導(dǎo)體芯片的密封樹(shù)脂。在任一情況下，被測(cè)定物10的上表面都為密封樹(shù)脂。帶電裝置100通過(guò)與被測(cè)定物 10的上表面接觸，而使被測(cè)定物10帶電。

具體而言，帶電裝置100具有載置臺(tái)110以及靜電產(chǎn)生機(jī)構(gòu)120。載置臺(tái)110是用于載置被測(cè)定物10的臺(tái)，例如用不銹鋼等金屬形成。

靜電產(chǎn)生機(jī)構(gòu)120位于載置臺(tái)110的上方，具有接觸部件126、臂部124以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)122。接觸部件126與被測(cè)定物10的上表面接觸而產(chǎn)生靜電。接觸部件126用容易產(chǎn)生靜電的物質(zhì)形成，例如用橡膠形成。臂部124例如是金屬制的棒狀部件，在下端安裝有接觸部件126。臂部124的上端安裝于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)122。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)122例如具有電動(dòng)機(jī)以及齒輪，使臂部124以及接觸部件126反復(fù)上下移動(dòng)。由此，接觸部件126能夠反復(fù)與被測(cè)定物10的上表面接觸。

此外，接觸部件126也可以能夠從臂部124拆卸。因此，若再準(zhǔn)備由互不相同的材質(zhì)形成的多個(gè)接觸部件126，則能夠根據(jù)被測(cè)定物10的狀態(tài)選擇適當(dāng)?shù)慕佑|部件126，且將所選擇的接觸部件126安裝于臂部124。

帶電裝置100還具有控制部130。控制部130控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)122的動(dòng)作?？刂撇?30 具有例如微型電子計(jì)算機(jī)以及存儲(chǔ)器，利用存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的軟件來(lái)控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)122 的動(dòng)作。

另外，載置臺(tái)110也可以安裝于移動(dòng)機(jī)構(gòu)112。移動(dòng)機(jī)構(gòu)112使載置臺(tái)110在水平面內(nèi)移動(dòng)。另外，也可以在靜電產(chǎn)生機(jī)構(gòu)120安裝有移動(dòng)機(jī)構(gòu)128。移動(dòng)機(jī)構(gòu)128使靜電產(chǎn)生機(jī)構(gòu)120在水平面內(nèi)移動(dòng)。移動(dòng)機(jī)構(gòu)112以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)128都具有步進(jìn)電動(dòng)機(jī)等電動(dòng)機(jī)，并由控制部130控制。通過(guò)設(shè)置移動(dòng)機(jī)構(gòu)112以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)128中的至少一方，能夠使靜電產(chǎn)生機(jī)構(gòu)120的接觸部件126的位置以高精度配合于被測(cè)定物10的上表面。