[實用新型]一種新型的硅片下片機

有效

• 申請號: 201720872851.4
• 申請日: 2017-07-18
• 公開（公告）號: CN207068898U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發明（設計）人: 趙剛;沈杰
• 申請（專利權）人: 杭州研卓智能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型的硅片下片機，其特征在于：包括機架，所述機架上安裝有空花籃輸送線、滿花籃輸送線、硅片輸送線、空硅片盒輸送線、滿硅片盒輸送線和觸摸屏控制器，所述滿花籃輸送線、硅片輸送線和空硅片盒輸送線依次相連，所述空花籃輸送線位于所述滿花籃輸送線的下方，所述滿硅片盒輸送線位于所述空硅片盒輸送線的下方；

所述滿花籃輸送線和硅片輸送線之間的機架上安裝有花籃提升機構；

所述硅片輸送線上方架設有硅片旋轉機構；

所述硅片輸送線和空硅片盒輸送線之間的機架上安裝有硅片盒提升機構和硅片抓取機構；

所述觸摸屏控制器電連接所述空花籃輸送線、滿花籃輸送線、硅片輸送線、空硅片盒輸送線、滿硅片盒輸送線、花籃提升機構、硅片旋轉機構、硅片盒提升機構和硅片抓取機構。

2.根據權利要求1所述的一種新型的硅片下片機，其特征在于：所述花籃提升機構包括花籃升降構件和花籃平移構件，所述花籃升降構件包括花籃升降臺、第一直線模組和第一伺服電機，所述第一直線模組上活動安裝有第一滑塊，所述花籃升降臺安裝在所述第一滑塊上，所述第一伺服電機安裝在所述第一直線模組的頂端，所述第一伺服電機與所述觸摸屏控制器電連接；

所述花籃平移構件包括花籃支架、花籃輸送皮帶和第一步進電機，所述花籃支架安裝在所述花籃升降臺上，所述花籃輸送皮帶安裝在所述花籃支架內，所述第一步進電機安裝在所述花籃支架的底部，所述第一步進電機通過第一步進電機皮帶與所述花籃輸送皮帶相連；所述花籃支架的頂部安裝有花籃壓緊組件；所述第一步進電機與所述觸摸屏控制器電連接。

3.根據權利要求2所述的一種新型的硅片下片機，其特征在于：所述花籃壓緊組件包括花籃壓緊板，所述花籃壓緊板上安裝有花籃壓緊氣缸，所述花籃壓緊氣缸與所述花籃支架的頂部相連。

4.根據權利要求1所述的一種新型的硅片下片機，其特征在于：所述硅片旋轉機構包括門形的旋轉機構支架，所述旋轉機構支架包括有支架橫梁和分設于所述支架橫梁兩端的兩個支架柱，所述支架橫梁下方安裝有90°旋轉氣缸，所述90°旋轉氣缸下方安裝有升降氣缸，所述升降氣缸下方安裝有旋轉用伯努利吸盤，所述90°旋轉氣缸與所述觸摸屏控制器電連接。

5.根據權利要求1所述的一種新型的硅片下片機，其特征在于：所述硅片盒提升機構包括硅片盒升降構件和硅片盒平移構件，所述硅片盒升降構件包括硅片盒升降臺、第二直線模組和第二伺服電機，所述第二直線模組上活動安裝有第二滑塊，所述硅片盒升降臺安裝在所述第二滑塊上，所述第二伺服電機安裝在所述第二直線模組的頂端，所述第二伺服電機與所述觸摸屏控制器電連接；

所述硅片盒平移構件包括硅片盒支架、硅片盒輸送皮帶和第二步進電機，所述硅片盒支架安裝在所述硅片盒升降臺上，所述硅片盒輸送皮帶安裝在所述硅片盒支架內，所述第二步進電機安裝在所述硅片盒支架的底部，所述第二步進電機通過第二步進電機皮帶與所述硅片盒輸送皮帶相連；所述硅片盒支架的頂部安裝有硅片盒壓緊組件；所述第二步進電機與所述觸摸屏控制器電連接。

6.根據權利要求5所述的一種新型的硅片下片機，其特征在于：所述硅片盒壓緊組件包括硅片盒壓緊板，所述硅片盒壓緊板上安裝有硅片盒壓緊氣缸，所述硅片盒壓緊氣缸與所述硅片盒支架的頂部相連。

7.根據權利要求1所述的一種新型的硅片下片機，其特征在于：所述硅片抓取機構包括抓取機構支架，所述抓取機構支架上架裝有無桿氣缸和支架橫梁，所述無桿氣缸與所述支架橫梁平行設置，所述無桿氣缸包括滑動塊，所述滑動塊上安裝有升降氣缸，所述升降氣缸下方連接有吸盤架，所述吸盤架上安裝有抓取用伯努利吸盤；所述支架橫梁上安裝有拖鏈線槽，所述無桿氣缸和升降氣缸均與所述觸摸屏控制器電連接。