[實用新型]一種多晶氧化物柔性薄膜晶體管有效
| 申請號： | 201720865188.5 | 申請日： | 2017-07-17 |
| 公開（公告）號： | CN207038532U | 公開（公告）日： | 2018-02-23 |
| 發明（設計）人： | 寧洪龍;曾勇;姚日暉;鄭澤科;章紅科;劉賢哲;李曉慶;張嘯塵;王磊;彭俊彪 | 申請（專利權）人： | 華南理工大學 |
| 主分類號： | H01L29/786 | 分類號： | H01L29/786;H01L21/336;H01L29/22 |
| 代理公司： | 廣州市華學知識產權代理有限公司44245 | 代理人： | 羅嘯秋 |
| 地址： | 510640 廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多晶 氧化物 柔性 薄膜晶體管 | ||
【權利要求書】：
1.一種多晶氧化物柔性薄膜晶體管，由依次層疊的硬質襯底、柔性襯底、柵極、柵極絕緣層、有源層和源/漏電極構成，其特征在于：所述有源層具有誘導層和多晶氧化物半導體層的雙層結構，其中誘導層位于柵極絕緣層一側。
2.根據權利要求1所述的一種多晶氧化物柔性薄膜晶體管，其特征在于：所述多晶氧化物半導體層上還設置一層鈍化層。
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