[實用新型]自動定量換液進水裝置有效
| 申請號: | 201720861964.4 | 申請日: | 2017-07-17 |
| 公開(公告)號: | CN207204697U | 公開(公告)日: | 2018-04-10 |
| 發明(設計)人: | 邵玉林 | 申請(專利權)人: | 無錫琨圣科技有限公司 |
| 主分類號: | B08B3/02 | 分類號: | B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙)11350 | 代理人: | 湯東鳳 |
| 地址: | 214000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 自動 定量 進水 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及制絨清洗設備技術領域,特別涉及自動定量換液進水裝置。
背景技術
在太陽能硅片生產過程中,需要對硅片進行清洗,目前主要采用制絨清洗機進行清洗。制絨清洗機具有多個工位,工作原理是利用超聲波滲透力強的機械振動沖擊硅片表面并結合清洗劑的化學去污作用達到對硅片表面附著的碳化硅、硅粉、金屬粉末、油污、懸浮液等雜質的清除,從而獲得表面潔凈的硅片。其工藝流程為:上料(浸泡)、清洗、堿洗、漂洗、慢拉脫水槽、烘干、下料。在進行清洗時,需要進行藥液和水的更換,通常是通過程序設定供給量。但是,現有的自動定量換液進水裝置的進水和進液通常從一個方向進入,需要一段時間才能使水槽中的藥液分布均勻;此外,無法對硅片進行沖洗,硅片的清洗速度較慢。
實用新型內容
本實用新型為了解決現有技術的問題,提供了一種清洗效率較高,潔凈度較好,便于更換清洗液和水的自動定量換液進水裝置。
具體技術方案如下:自動定量換液進水裝置,包括主體,進液裝置,進水裝置,水槽,排水管,溢流管,第一傳感器和第二傳感器,所述水槽設置在主體上,進液裝置包括第一供液管,第二供液管和供液器,所述第一供液管和第二供液管設置在水槽兩側,第一、第二供液管均與供液器、水槽連通,所述進水裝置包括第一水管和第二水管,第一、第二水管與水槽連通,所述主體上設有出水口,所述排水管和溢流管與出水口連通,排水管與水槽底部連通,溢流管與水槽上方連通,第一、第二傳感器設置在水槽上,第一傳感器設置在第二傳感器上方。
以下為本實用新型的附屬技術方案。
作為優選方案,所述進水裝置包括三通管,第一、第二水管分別與三通管連通。
作為優選方案,所述三通管兩側設有第一電磁閥和第二電磁閥,第一電磁閥與第一水管連接,第二電磁閥與第二水管連接。
作為優選方案,所述排水管上設有第三電磁閥。
作為優選方案,所述進水裝置包括第一噴頭和第二噴頭,第一、第二噴頭設置在水槽上,第一噴頭與第一水管連接,第二噴頭與第二水管連接。
作為優選方案,第一噴頭和第二噴頭均包括進水管,基座和蓋板,所述基座設有出水腔,進水管與出水腔連通,所述蓋板設置在基座一側,蓋板上設有出水孔。
作為優選方案,第一、第二噴頭包括墊片,墊片設置在基座和水槽之間。
作為優選方案,第一噴頭的進水管與第一水管連接,第二噴頭的進水管與第二水管連接,進水管通過螺母與水槽連接。
本實用新型的技術效果:本實用新型的自動定量換液進水裝置能夠從不同方向提供清洗液和水,從而使得對硅片的沖洗更全面,提升清洗效率;同時,清洗作用力均勻,清洗潔凈度高,清洗效果好,可有效去除硅片表面的雜質;此外,能夠自動控制清洗液和水的更換,提升更換效率,便于操作。
附圖說明
圖1是本實用新型實施例的自動定量換液進水裝置的示意圖。
圖2是本實用新型實施例的自動定量換液進水裝置的俯視圖。
圖3是本實用新型實施例的第一噴頭和第二噴頭的示意圖。
具體實施方式
下面,結合實例對本實用新型的實質性特點和優勢作進一步的說明,但本實用新型并不局限于所列的實施例。
如圖1至圖3所示,本實施例的自動定量換液進水裝置包括主體1,進液裝置2,進水裝置3,水槽4,排水管5,溢流管6,第一傳感器7和第二傳感器8,所述水槽4設置在主體1上。進液裝置2包括第一供液管21,第二供液管22和供液器23,所述第一供液管21和第二供液管22設置在水槽4兩側,第一、第二供液管均與供液器、水槽連通。所述進水裝置3包括第一水管31和第二水管32,第一、第二水管與水槽4連通,所述主體1上設有出水口11,所述排水管5和溢流管6與出水口11連通,排水管5與水槽底部連通,溢流管6與水槽4上方連通,第一、第二傳感器設置在水槽上,第一傳感器7設置在第二傳感器8上方,上述技術方案中,通過進液裝置和進水裝置能夠分別向水槽中提供清洗液和水,從而對水槽中的硅片進行清洗。通過設置兩根水管和供液管,使得清洗液和水能夠從兩個方向進入水槽,從而對硅片的沖洗效率更高,清洗液分布更均勻。通過第一、第二傳感器,能夠感應水槽中的液位,當液位過高時,進行排水,液位過低時,進行補水和補液,補充的清洗液和水的量可通過程序設定。本實施例中,主體中設有控制設備9,控制設備可采用三菱FX系列的PLC控制器。
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