[實用新型]一種硅片的刻蝕設備

有效

• 申請號: 201720854635.7
• 申請日: 2017-07-14
• 公開（公告）號: CN207009462U
• 公開（公告）日: 2018-02-13
• 發明（設計）人: 王鎮;顏大安
• 申請（專利權）人: 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67
• 代理公司: 嘉興永航專利代理事務所(普通合伙)33265
• 代理人: 蔡鼎

技術領域

本實用新型涉及一種刻蝕設備，特別是一種硅片的刻蝕設備。

背景技術

太陽能作為一種安全可靠、經濟實惠且容易獲得的綠色能源，正在被人們日益關注。因此，太陽能電池的一出現就得到了快速的發展，激烈的競爭使得行業的研究者對如何提高轉換效率、降低生產成本展開探索。

太陽能電池原理主要是以半導體材料硅為基體，利用擴散工藝在硅晶體中摻入雜質繼而形成電勢差，從而形成了太陽能電池。太陽能電池需要一個大面積的PN結以實現光能到電能的轉換，而擴散爐即為制造太陽能電池PN結的專用設備。在擴散工序中由于氣流的關系，不可避免地在硅片的非擴散面邊緣同樣形成N區，從而導致硅片短路。因此，需要在擴散后增加一步刻蝕工藝，將硅片上下表面隔斷。所以刻蝕技術是太陽能電池片制造工藝中一項相當重要的步驟。

經檢索，如中國專利文獻公開了一種用于濕刻蝕機的排風裝置【申請號：201220106718.5；公開號：CN 202576567U】。這種用于濕刻蝕機的排風裝置，其特征在于，包括槽蓋、觀察窗和槽體，槽蓋設于槽體上，在槽蓋上設有觀察窗，其特征在于，伸縮管下端垂直設于槽蓋的定位孔上，調節閥設于伸縮管的下端。

該專利中公開的刻蝕機的排風裝置雖然可以提高硅片方阻的均勻性，但是，該刻蝕機的排風裝置的結構過于簡單，無法將槽內各處的酸性或堿性的霧氣排出，清除效果差，因此，設計出一種硅片的刻蝕設備是很有必要的。

發明內容

本實用新型的目的是針對現有的技術存在上述問題，提出了一種硅片的刻蝕設備，該刻蝕設備具有清除效果好的特點。

本實用新型的目的可通過下列技術方案來實現：一種硅片的刻蝕設備，包括機架，其特征在于，所述機架上固定有校正槽和刻蝕槽，校正槽內具有用于輸送硅片的若干輸送輥一，刻蝕槽內具有用于輸送硅片的若干輸送輥二，機架上鉸接有能將刻蝕槽開口封閉住的蓋板，蓋板的截面呈倒V形，機架上設置有能將蓋板處的霧氣進行清除的清除機構，清除機構包括集液盒、刮板、導軌、滑塊、抽風管和抽氣泵，導軌水平固定在蓋板中部，滑塊設置在導軌上，滑塊與一能帶動其來回移動的移動結構相連，刮板通過連桿一和滑塊相連，且刮板與蓋板內壁相接觸，集液盒通過連桿二固定在滑塊上，且集液盒位于刮板正下方，抽風管一端通過連桿三固定在滑塊上，抽風管另一端穿出蓋板與抽氣泵相連，抽風管上還設置有單向閥。

本實用新型的工作原理如下：刻蝕槽工作的過程中會形成酸性或堿性的霧氣，通過移動結構帶動滑塊沿著導軌來回移動，滑塊帶動刮板來回移動，刮板將蓋板上的酸性或堿性液體刮掉，并收集在集液盒中，同時，開啟抽氣泵，通過抽風管將蓋板處的酸性或堿性氣體抽走，可將蓋板各處的霧氣去除，清除效果好。

所述移動結構包括驅動電機、齒輪和齒條，齒條水平固定在導軌上，驅動電機固定在滑塊上，驅動電機的輸出軸水平設置，齒輪固定在驅動電機的輸出軸端部，且齒輪與齒條相嚙合。

當需要使滑塊來回移動時，控制驅動電機的輸出軸轉動，驅動電機的輸出軸帶動齒輪轉動，齒輪逐漸與齒條相嚙合使滑塊沿著導軌來回移動，從而可使滑塊來回移動。

所述集液盒下部還連接有排液管，排液管上設置有電磁閥。

采用以上結構，通過排液管可方便將集液盒中的液體排出。

所述機架上設置有能對校正槽內的硅片進行噴淋的噴淋機構，噴淋機構包括噴淋管和調節輥，噴淋管通過支架固定在機架上，且噴淋管位于校正槽的正上方，噴淋管側部開設有若干噴水孔，調節輥設置在校正槽內，且調節輥與輸送輥一相互平行，調節輥與一能帶動其上下升降的升降結構相連。

當需要對校正槽內的硅片進行噴淋時，通過噴淋管將水噴在硅片的上表面，通過升降結構帶動調節輥上下移動，將其調節到所需位置，通過調節輥使硅片在行進過程中呈起伏狀態，將水膜均勻的覆蓋在硅片的上表面，噴淋效果好。

所述升降結構包括安裝架、推桿電機、導桿和導套，安裝架固定在機架上，導桿豎直固定在安裝架上，導套設置在導桿上，調節輥連接在導套上，推桿電機固定在安裝架上，推桿電機的推桿豎直向下，推桿電機的推桿端部和導套相連。

當需要使調節輥上下移動，控制推桿電機的推桿上下移動，推桿電機的推桿帶動導套沿著導桿上下移動，導套帶動調節輥上下移動，從而可使調節輥上下移動。