[實用新型]一種低壓擴散爐

有效

• 申請號: 201720854083.X
• 申請日: 2017-07-14
• 公開（公告）號: CN206916258U
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發明（設計）人: 王鎮;顏大安
• 申請（專利權）人: 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司
• 主分類號: C30B31/16
• 分類號: C30B31/16;C30B31/18
• 代理公司: 嘉興永航專利代理事務所(普通合伙)33265
• 代理人: 蔡鼎

技術領域

本實用新型涉及一種擴散爐，特別是一種低壓擴散爐。

背景技術

隨著光伏行業的急速發展，如何提高太陽能電池效率，減少生產成本，成為本行業研究的重點；而提高擴散方阻，成為提升電池效率的有效途徑之一。擴散工藝是晶體硅太陽能電池生產環節的核心工藝，其主要目的是在高溫條件下通過向硅片中摻入雜質元素磷或硼，形成PN結，PN結是晶體硅太陽能電池的心臟，其特性對于太陽能電池的轉換效率有著重要影響。

經檢索，如中國專利文獻公開了一種硅片高效擴散爐【申請號：201620523605.3；公開號：CN 205774934U】。這種硅片高效擴散爐,包括爐體和爐門，其特征在于：所述爐體內設有石英舟，在所述爐體的上端開設有進氣口，所述進氣口連接進氣管，在所述爐體的底部開設有出氣口，且所述出氣口連接尾氣排放管，在所述爐體的爐口處設有爐門，所述爐門的中心設有轉軸，所述爐門的外壁上固定設有凸起，在所述爐門上開設有兩個與轉軸對稱的窗口，在所述爐體的爐口處還設有與窗口相匹配的石英擋塊，在所述爐體的外側固定有U形支架，在所述U形支架上分別設有第一伸縮氣缸、第二伸縮氣缸、第三伸縮氣缸，且所述第一伸縮氣缸和所述第二伸縮氣缸分別緊貼凸起，所述第三伸縮氣缸連接石英推拉桿，所述石英推拉桿與石英舟在同一直線上。

該專利中公開的擴散爐雖然自動化程度高，但是，該擴散爐的結構過于簡單，氧氣和三氯氧磷沒有充分混合均勻就與硅片發生反應，擴散效果差，因此，設計出一種低壓擴散爐是很有必要的。

發明內容

本實用新型的目的是針對現有的技術存在上述問題，提出了一種低壓擴散爐，該擴散爐具有擴散效果好的特點。

本實用新型的目的可通過下列技術方案來實現：一種低壓擴散爐，包括機架，其特征在于，所述機架上固定有箱體，箱體內依次設置有上擴散爐和下擴散爐，上擴散爐和連接管的一端相連通，連接管的一端上還設置有電磁閥一，下擴散爐和連接管的另一端相連通，連接管的另一端上還設置有電磁閥二，連接管的中部和真空泵的進口端相連通，真空泵的出口端與一排氣機構相連，機架上設置有能向上擴散爐和下擴散爐輸送氣體的進氣機構，進氣機構包括內部具有空腔的混合桶、攪拌筒、若干進氣管和輸氣管，混合桶固定在機架上，進氣管的一端和混合桶側部相連通，進氣管的另一端能與外界氣源相連通，攪拌筒通過轉軸豎直設置在混合桶內，攪拌筒側部開設有若干通氣孔，攪拌筒內側還設置有若干傾斜的輔助葉片，輸氣管的中部和混合桶的下部相連通，輸氣管的一端和上擴散爐相連通，輸氣管的一端上還設置有電磁閥三，輸氣管的另一端和下擴散爐相連通，輸氣管的另一端上還設置有電磁閥四。

本實用新型的工作原理如下：開啟真空泵，打開電磁閥一或電磁閥二，通過連接管將上擴散爐或下擴散爐抽成低壓；通過進氣管將各種氣體輸送到混合桶中，氣體經過攪拌筒的通氣孔對輔助葉片進行沖擊，使攪拌筒轉動，隨著攪拌筒的轉動，將各種氣體混合均勻，打開電磁閥三或電磁閥四，通過輸氣管將混合好的氣體輸送到上擴散爐或下擴散爐中，能使各種氣體濃度在爐體內的每個位置都保持均勻，擴散效果好。

所述排氣機構包括排氣管、熱交換管和排放尾管，熱交換管由下至上盤繞在混合桶外，熱交換管的上端和排放尾管相連通，熱交換管的下端和排氣管的一端相連通，排氣管的另一端和真空泵的出口端相連通。

采用以上結構，通過排氣管將上擴散爐或下擴散爐中的高溫廢氣輸送到熱交換管中，熱交換管對混合桶進行加熱，交換后的低溫廢氣從排放尾管排出，從而可對余熱進行利用，資源利用率高。

所述混合桶上還設置有溫度儀。

采用以上結構，通過溫度儀可快速查看到混合桶內的溫度，指示直觀。

所述熱交換管上還設置有氣流調節閥。

采用以上結構，通過氣流調節閥可調節熱交換管中的氣流大小。

所述機架上還固定有控制器，電磁閥一、電磁閥二、電磁閥三、電磁閥四和真空泵通過線路均與該控制器相連。

采用以上結構，通過控制器可控制電磁閥一、電磁閥二、電磁閥三、電磁閥四和真空泵動作，智能化程度高。

所述機架上還設置有冷卻機構，冷卻機構包括冷卻箱和風機，冷卻箱固定在機架上，冷卻箱的側部開設有取放口，冷卻箱上還鉸接有能將取放口封閉住的蓋板，冷卻箱的下部開設有進風口，進風口通過進風管和空壓機相連通，進風管上還設置有過濾袋，冷卻箱的上部開設有出風口，出風口和出風管相連，出風管上還設置有單向閥，風機設置在冷卻箱內，且風機的吹風口水平布置，風機與一能帶動其上下移動的移動結構相連。