[實用新型]一種高真空環境下掃描探針換針裝置有效
| 申請號： | 201720846452.0 | 申請日： | 2017-07-13 |
| 公開（公告）號： | CN206960509U | 公開（公告）日： | 2018-02-02 |
| 發明（設計）人： | 董國材;張祥 | 申請（專利權）人： | 常州國成新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | G01Q60/16 | 分類號： | G01Q60/16 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213149 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 真空 環境 掃描 探針 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種高真空環境下掃描探針換針裝置，其特征在于，包括掃描管探針固定頭、探針架和探針架攜帶架。
2.如權利要求1所述的一種高真空環境下掃描探針換針裝置，其特征在于，所述掃描管探針固定頭包括磁鐵、電極接觸片。
3.如權利要求1所述的一種高真空環境下掃描探針換針裝置，其特征在于，所述探針架包括鐵磁板、針尖固定管、電極接觸環。
4.如權利要求1所述的一種高真空環境下掃描探針換針裝置，其特征在于，所述探針架攜帶架包括通孔、限位裝置和抓取手柄。
5.如權利要求1所述的一種高真空環境下掃描探針換針裝置，其特征在于，所述掃描探針固定頭、探針架和探針架攜帶架的表面鍍有一層抗氧化導電層，該鍍層為金、銀、鉑、銥中的一種。
6.如權利要求3所述的一種高真空環境下掃描探針換針裝置，其特征在于，所述探針架中的針尖固定管為空心圓柱形，用來放置針尖托。
7.如權利要求4所述的一種高真空環境下掃描探針換針裝置，其特征在于，所述限位裝置為上下兩個臺階面，探針架的鐵磁板可卡于限位裝置的兩個臺階面上。
8.如權利要求4所述的一種高真空環境下掃描探針換針裝置，其特征在于，所述通孔用來放置吸附件，吸附件為磁鐵。
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