[實用新型]一種激光誘導等離子體直寫加工頭有效
| 申請號: | 201720841479.0 | 申請日: | 2017-07-12 |
| 公開(公告)號: | CN206869308U | 公開(公告)日: | 2018-01-12 |
| 發明(設計)人: | 孫軻;曹宇;薛偉;朱德華;潘曉銘;劉文文;孫兵濤 | 申請(專利權)人: | 溫州大學激光與光電智能制造研究院 |
| 主分類號: | B23K26/342 | 分類號: | B23K26/342;B23K26/14 |
| 代理公司: | 北京中北知識產權代理有限公司11253 | 代理人: | 段秋玲 |
| 地址: | 325000 浙*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 激光 誘導 等離子體 直寫加 工頭 | ||
1.一種激光誘導等離子體直寫加工頭,其特征在于,包括直寫沉積加工頭(1)、基片(2)、工作臺(3)、激光發射模塊(4)、吹氣模塊和多自由度運動模塊,所述基片(2)設置在工作臺(3)上,所述激光發射模塊(4)用于發射聚焦激光束;所述吹氣模塊用于向直寫沉積加工頭(1)內吹氣;所述多自由度運動模塊用于提供二維或三維運動,使直寫沉積加工頭(1)與工作臺(3)發生相對運動;
所述直寫沉積加工頭(1)呈筒形中空結構;所述直寫沉積加工頭(1)的筒形內部空腔為真空腔,所述真空腔具有兩個端部,分別為第一端部和第二端部;第一端部上設置有可旋轉的靶材安裝座(13),靶材安裝座(13)上沿圓周方向均勻設置有多個圓形安裝孔,多個圓形安裝孔的圓心位于同一圓周上;多個圓形安裝孔的中心軸線與靶材安裝座(13)的中心軸線平行;多個靶材(5)分別固定安裝在多個圓形安裝孔上,其安裝方位使得所述多個靶材(5)的中心軸線,以及靶材安裝座(13)的中心軸線均相互平行;直寫沉積加工頭(1)的第二端部設置有一激光入射窗(6);
所述直寫沉積加工頭(1)筒形內部空腔的側壁上設置有一氣體吹入口(7),另一側與氣體吹入口(7)相對的位置設置有一錐形噴嘴(8),所述錐形噴嘴(8)帶有加熱元件(14);所述直寫沉積加工頭(1)筒形內部空腔內設置有過濾網(12);所述過濾網(12)設置在靶材(5)與等離子體匯聚區域之間,在靶材(5)與等離子體匯聚區域之間設置有電場和/或磁場。
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