[實用新型]一種傳輸腔的激光傳感器安裝裝置有效
| 申請號: | 201720840328.3 | 申請日: | 2017-07-12 |
| 公開(公告)號: | CN206907744U | 公開(公告)日: | 2018-01-19 |
| 發明(設計)人: | 車東晨;孫偉;胡冬冬;許開東 | 申請(專利權)人: | 江蘇魯汶儀器有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/66;H01L21/68 |
| 代理公司: | 北京得信知識產權代理有限公司11511 | 代理人: | 袁偉東,袁建水 |
| 地址: | 221300 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 傳輸 激光 傳感器 安裝 裝置 | ||
1.一種傳輸腔的激光傳感器安裝裝置,其特征在于,
包括傳感器固定板和底端連接支架,所述傳感器固定板通過所述底端連接支架與傳輸腔的觀察窗相連接,所述傳感器固定板上加工有傳感器位置調節槽,所述底端連接支架上加工有水平方向的傳感器固定板位置調節槽。
2.根據權利要求1所述的傳輸腔的激光傳感器安裝裝置,其特征在于,
所述傳感器固定板包括底板和設置在所述底板上的立板,所述底板與所述底端連接支架連接,所述立板上加工有弧形滑槽作為所述傳感器位置調節槽。
3.根據權利要求2所述的傳輸腔的激光傳感器安裝裝置,其特征在于,
所述立板上設有傳感器安裝孔,其中一個傳感器安裝孔位于所述弧形滑槽的弧心處,另一個傳感器安裝孔位于所述弧形滑槽的弧線上。
4.根據權利要求2或3所述的傳輸腔的激光傳感器安裝裝置,其特征在于,
所述弧形滑槽所對應的圓心角不大于90度。
5.根據權利要求2或3所述的傳輸腔的激光傳感器安裝裝置,其特征在于,
所述傳感器固定板的所述底板上加工有兩個安裝孔以配合螺釘或螺栓與所述底端連接支架連接,所述螺釘或螺栓穿過所述底板插入到所述底端連接支架的傳感器固定板位置調節槽中。
6.根據權利要求2或3所述的傳輸腔的激光傳感器安裝裝置,其特征在于,
所述底板和立板組成“L”型板片結構。
7.根據權利要求1、2或3所述的傳輸腔的激光傳感器安裝裝置,其特征在于,
所述底端連接支架上縱向設置有長形滑槽作為水平方向的傳感器固定板位置調節槽。
8.根據權利要求7所述的傳輸腔的激光傳感器安裝裝置,其特征在于,
所述底端連接支架是長條板狀結構,所述長條板狀結構的兩端加工有連接孔以與所述傳輸腔的觀察窗連接,所述長條板狀結構加工成圓弧面結構,以與所述傳輸腔的觀察窗的周緣相配合。
9.根據權利要求2或3所述的傳輸腔的激光傳感器安裝裝置,其特征在于,
所述傳感器固定板的所述傳感器位置調節槽的延伸方向所在的平面與所述底端連接支架的傳感器固定板位置調節槽的延伸方向和深度方向所在的平面平行。
10.根據權利要求2或3所述的傳輸腔的激光傳感器安裝裝置,其特征在于,
所述傳感器固定板上所述傳感器位置調節槽的延伸方向所在的平面與所述底端連接支架的傳感器固定板位置調節槽的延伸方向和深度方向所在的平面形成一定角度的夾角。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于江蘇魯汶儀器有限公司,未經江蘇魯汶儀器有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201720840328.3/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:一種高度可調的半導體晶片封裝設備
- 下一篇:一種校準晶圓
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





