[實用新型]一種氣體送樣裝置及氣體檢測系統

有效

• 申請號: 201720837073.5
• 申請日: 2017-07-11
• 公開（公告）號: CN207096186U
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發明（設計）人: 曹巖德;魏東亮;蔡延國;馬婷;王丙軍;肖建忠
• 申請（專利權）人: 亞洲硅業（青海）有限公司
• 主分類號: G01N30/16
• 分類號: G01N30/16;G01N30/02
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)11371
• 代理人: 吳強

技術領域

本實用新型涉及氣體檢測領域，尤其針對多晶硅生產中尾氣的檢測，具體而言，涉及一種氣體送樣裝置及氣體檢測系統。

背景技術

隨著太陽能產業的飛速發展，全球對多晶硅的需求日益增長，尤其對多晶硅的品質要求也越來越高，但仍無法實現高純、超高純電子級多晶硅的量產，要想得到高純、超高純電子級多晶硅就需要在生產過程中不斷改進工藝參數，提高檢測手段，監控整個物料中的雜質含量，目前影響產品質量的主要雜質就是硼磷等雜質，其中磷雜質在尾氣系統中主要以磷化氫的形式存在，由于磷化氫樣品分析的特殊性，要求氣體樣品的進樣速度均勻，以使磷化氫在吸附柱中得到充分的分離、富集。對于這些含量非常小(痕量級及以下)的氣體測定，現有的做法是將待測氣體經過低溫富集和加熱解析過程后將富集的氣體通入到氣相色譜儀中進行分析測定。但在進樣檢測過程中由于要經過色譜儀內特定的定量環才能準確定量分析，這增加了實驗的操作難度，并且在充入定量環的過程中，先要置換定量環中的氣體，在置換氣體的過程中還可能造成氣體損失或者填充不滿，影響實驗準確度。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種氣體送樣裝置，其能夠無損失、無夾雜地接收傳輸而來的待測氣體，將進樣過程簡單化，且實驗誤差小。

本實用新型的另一目的在于提供一種氣體檢測系統，其能夠簡單方便地對待檢測氣體進行送樣，并且實驗誤差小。

本實用新型的實施例是這樣實現的：

一種氣體送樣裝置，其包括進樣器和載氣管道，

載氣管道包括形成載氣通道的管壁，管壁上開設有進樣口；

進樣器設置于進樣口外側，進樣器包括筒體、設置于筒體的進氣管以及可滑動地設置于筒體內的活塞，筒體的壁面上開設有進氣口；

進氣管或進樣口設置有啟閉裝置，啟閉裝置用于連通或隔斷進氣管與載氣管道。

在本實用新型的一個實施例中，上述氣體送樣裝置的啟閉裝置為封閉進樣口的進樣墊，進氣管為空心針狀，進氣管的自由端位于進樣墊中，從而使進氣管的自由端密封，進氣管能夠向載氣管道內部移動進而插入到載氣通道內，從而將筒體和載氣通道連通。

在本實用新型的一個實施例中，上述氣體送樣裝置的筒體為直筒，筒體的壁面包括筒狀的側壁和位于筒體端部的錐形底壁，底壁向筒體外部凸出，進氣管位于底壁的端部。

在本實用新型的一個實施例中，上述氣體送樣裝置的活塞包括活塞頭，活塞頭朝向底壁的一側具有與底壁配合的錐面。

在本實用新型的一個實施例中，上述氣體送樣裝置的進氣口位于底壁。

在本實用新型的一個實施例中，上述氣體送樣裝置還包括第一驅動部，第一驅動部用于驅動活塞在筒體內移動。

在本實用新型的一個實施例中，上述氣體送樣裝置的筒體遠離進氣管的一端設置有封蓋，封蓋的內側設置有第一驅動部，活塞還包括活塞桿，第一驅動部與活塞桿連接，并能夠驅動活塞在筒體內移動。

在本實用新型的一個實施例中，上述氣體送樣裝置還包括第二驅動部，第二驅動部用于驅動進樣器整體靠近或遠離進樣口，以使得進氣管能夠插入或貫穿進樣墊。

在本實用新型的一個實施例中，上述氣體送樣裝置的進樣墊為橡膠。

一種氣體檢測系統，其包括氣體預處理系統、檢測設備以及上述的氣體送樣裝置；氣體預處理系統通過管線與氣體送樣裝置的進氣口連通，檢測設備與載氣管道連通。

本實用新型實施例的有益效果是：

載氣管道包括形成載氣通道的管壁，管壁上開設有進樣口；進樣器設置于進樣口外側，進樣器包括筒體、設置于筒體的進氣管以及可滑動地設置于筒體內的活塞，筒體的壁面上開設有進氣口；進氣管或進樣口設置有啟閉裝置，啟閉裝置用于連通或隔斷進氣管與載氣管道。進氣口可以無損失、無夾雜的接受預處理后的氣體，將其暫時儲存于進樣器的筒體內。當需要將氣體輸送入后續的檢測設備中時，開啟進氣管的啟閉裝置，可以將氣體通過活塞完全打入載氣管道中，然后利用載氣輸送入后續的檢測設備中。整個送樣過程簡單穩定，無夾雜無損失。

氣體檢測系統包括氣體預處理系統、檢測設備以及上述的氣體送樣裝置，氣體通過預處理系統處理后，定量地輸入至氣體送樣裝置中，無損失無夾雜地通過氣體送樣裝置全部送入檢測設備中，實驗準確，操作方便。

附圖說明