[實用新型]流體加熱器的連接裝置

有效

• 申請號: 201720834704.8
• 申請日: 2017-07-11
• 公開（公告）號: CN207064903U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發明（設計）人: 黃彥齊
• 申請（專利權）人: 正泰電熱股份有限公司
• 主分類號: F16L23/024
• 分類號: F16L23/024;F16L23/16;F16L43/02
• 代理公司: 廈門市新華專利商標代理有限公司35203
• 代理人: 朱凌

技術領域

本實用新型涉及一種流體加熱器的連接裝置。

背景技術

半導體是一種精密復雜的電子元件，該類高科技電子元件在半導體工業制造的方法，多在硅半導體上應用氧化層成長、蝕刻、清洗等技術，制成功能完整的晶圓。此類制造技術因常用到具有毒性的氣體及化學液體，因此，若作業空間防護不良或設備妥善度不佳，將會直接影響作業人員的人身安全。

上述制程中，腐蝕性強酸的流體(包括液體及氣體)會通過熱交換器被提高溫度或濃度，以加速強酸在制程中的反應效率。習用的熱交換動作，通常是在強酸流體的管路上串聯一蒸汽加熱器，該蒸汽加熱器與強酸管路組接的兩側端面、強酸管道或連結構件直接承受高溫、強酸的作用。然而習用熱交換器耐腐蝕的能力及耐高溫能力不佳，導致容易在二相鄰構件的結合處因銹蝕而發生泄漏的不良情形，影響工作安全甚巨。另一方面，連結構件因無法維修需整組替換，無疑增加業者的生產成本。

如圖1所示，為習知高溫流體連結構件的使用狀態圖，較佳的連結構件91一般選用一機械法蘭，將其直接鎖固于半導體設備9上，利用法蘭本身的高耐受性及密封性，良好的傳導高溫或強酸的流體。然而連結構件91的輸入端911方位無法配合加熱器的輸出端921，故需額外連接一轉向管體93，非常占用空間。另外，即使連結構件91本身可耐熱密封，但連結構件91直接設置于半導體設備9上，兩者之間的縫隙仍須使用密封墊圈94，故容易因阻擋高溫或強酸流體的動作，加劇密封墊圈94的損壞情形，而徒增密封墊圈94的損耗及增加泄漏的風險。

所以，要如何解決上述習用的問題與缺失，即為本實用新型的申請人與從事此行業的相關廠商所亟欲研究改善的方向所在。

故，本實用新型的申請人有鑒于上述缺失，乃搜集相關資料，經由多方評估及考慮，并以從事于此行業累積的多年經驗，經由不斷試作及修改，終設計出本實用新型。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種可縮小占用體積、有效避免高溫流體泄漏，以快速導引高溫流體的流體加熱器的連接裝置。

基于此，本實用新型主要采用下列技術手段，來實現上述目的。

一種流體加熱器的連接裝置，包含：一第一密封件；一設于該第一密封件上且供輸入高溫流體的輸入管體；一設于該第一密封件背離該輸入管體一側的第二密封件，連通該第一密封件；一設于該第二密封件上且供輸出高溫流體的輸出管體；至少一設于該輸出管體內的第三密封件；一設于該輸出管體內且壓制于該第三密封件上的緊迫元件；一設于該輸出管體上且供穩固該緊迫元件壓制動作的固定件；至少一設于該第一密封件與該第二密封件間的第一耐熱墊體；及至少一設于該第二密封件背離該第一耐熱墊體一側的第二墊體，且該第二墊體環繞于該輸出管體的輸出端外側。

進一步，該輸入管體包含一樞設于該第一密封件上的旋轉座。

進一步，該第一密封件鄰近該第二密封件一側具有至少一第一緊迫部，使該第一耐熱墊體發生形變而密封該第一密封件與該第一耐熱墊體間的間隙。

進一步，該第二密封件鄰近該第一密封件一側具有至少一第二緊迫部，使該第一耐熱墊體發生形變而密封該第二密封件與該第一耐熱墊體間的間隙。

進一步，該第一耐熱墊體形變形成至少一斜切面。

進一步，該輸出管體內具有一石英管，該石英管兩端分別連接該輸入管體及一半導體設備。

進一步，該輸入管體上設有至少一彎折段。

進一步，該第一密封件上具有多個第一鎖固孔，且該第二密封件上具有多個位置對應各第一鎖固孔的第二鎖固孔。

進一步，該第二密封件上具有多個定位孔，固定于一半導體設備。

進一步，該第一耐熱墊體為無氧銅墊片，且該第一密封件及該第二密封件為法蘭。

本實用新型通過第一耐熱墊體確實防堵流體外泄，并提供長效密封效果，而快速導出流體，利用緊迫件壓制第三密封件，使其由輸出管體內側進行密封，防止高溫流體側漏，當使用者將本實用新型做為流體加熱器的連接裝置時，利用第一、第二密封件壓合一第一耐熱墊體，借緊迫該第一耐熱墊體的動作，防止高溫流體泄漏，并利用緊迫元件壓制第三密封件，以及固定件的穩固效果，使第三密封件由輸出管體內側進行密封，而讓高溫流體快速流出第二密封件，而減少第二墊體的受熱程度，以降低第一耐熱墊體及第二墊體的耗損率，且利用彎折段改變輸入管體的連接方向，縮小連接結構所占用的體積，并增加連接裝置的組裝便利性。

借由上述技術，可針對習用高溫流體連結構件所存在的需額外設置一轉向管體導致體積較大、及銜接處的密封墊圈容易受熱損壞等問題點加以突破，達到上述優點的實用性和進步性。