[實用新型]一種快速拆裝的陶瓷套管及鎳硅化物預清洗腔體基座

有效

• 申請號: 201720815165.3
• 申請日: 2017-07-06
• 公開（公告）號: CN207149533U
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發明（設計）人: 陳偉;朱亮;柳小敏;劉瑋
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 上海申新律師事務所31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種快速拆裝的陶瓷套管，安裝在鎳硅化物預清洗腔體的基座中，所述基座中包括一安裝通孔；其特征在于，所述安裝通孔的上半部分分別設置有對稱的兩個限位臺階；

所述陶瓷套管包括：

套管本體，安裝于所述安裝通孔內，于所述套管本體上分別設置有對稱的兩個定位邊翼，并分別擱置于對應的所述限位臺階上；

兩個固定部件，分別設置在每個所述定位邊翼的上方。

2.如權利要求1所述的陶瓷套管，其特征在于，所述安裝通孔包括所述上半部分和下半部分，所述上半部分和所述下半部分通過所述限位臺階進行區分；

所述上半部分的孔徑大于所述下半部分的孔徑。

3.如權利要求1所述的陶瓷套管，其特征在于，每個所述固定部件分別包括：

緩沖裝置，設置于對應的所述定位邊翼上；

固定環，設置于所述緩沖裝置上；

卡簧，設置于所述固定環上。

4.如權利要求3所述的陶瓷套管，其特征在于，所述緩沖裝置為彈簧墊片。

5.如權利要求3所述的陶瓷套管，其特征在于，所述固定環為鋁環。

6.如權利要求3所述的陶瓷套管，其特征在于，所述緩沖裝置可裝卸地設置于所述定位邊翼上；

所述固定環可裝卸地設置于所述緩沖裝置上；以及

所述卡簧可裝卸地設置于所述固定環上。

7.一種鎳硅化物預清洗腔體基座，其特征在于，安裝有如權利要求1-6中所述的陶瓷套管。