[實用新型]一種光柵尺的誤差補償系統

有效

• 申請號: 201720808656.5
• 申請日: 2017-07-04
• 公開（公告）號: CN207036053U
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發明（設計）人: 張傳敏;黃志良;張松濤
• 申請（專利權）人: 吉林大學珠海學院;珠海市怡信測量科技有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 北京捷誠信通專利事務所(普通合伙)11221
• 代理人: 王衛東

1.一種光柵尺的誤差補償系統，其特征在于，包括：

底座，包括第一平臺和平行設置在所述第一平臺的頂面的第二平臺和第三平臺，所述第二平臺的頂面沿著其長度方向設有光柵尺；

氣浮滑動裝置，包括設置在所述第三平臺的外周面的半包圍滑塊和設置在所述半包圍滑塊的內壁上的各氣浮塊，所述半包圍滑塊在驅動裝置的作用下，帶動各所述氣浮塊在所述第三平臺的外周面做直線運動，所述半包圍滑塊的頂面設有光柵尺讀數頭，所述光柵尺與所述光柵尺讀數頭設置在同一水平面內；

激光干擾儀，包括設置在激光頭支架上的激光頭、設置在所述第三平臺的頂面靠近所述激光頭的一側的分光鏡以及設置在所述半包圍滑塊的頂面的反光鏡，所述激光頭、分光鏡和反光鏡的中心設置在同一水平面內。

2.如權利要求1所述的一種光柵尺的誤差補償系統，其特征在于，所述驅動裝置包括通過電機固定架設置在所述第一平臺的靠近所述激光頭的一側的伺服電機，所述伺服電機的輸出軸上設有第一同步輪，所述電機固定架上轉動設有第一連桿，所述第一連桿的一端設有與所述第一同步輪通過第一同步帶聯動的第二同步輪，所述第一連桿的中部設有第三同步輪，所述第一平臺的另一側設有固定架，所述固定架內轉動設有第二連桿，所述第二連桿的中部設有與所述第三同步輪通過第二同步帶聯動的第四同步輪。

3.如權利要求2所述的一種光柵尺的誤差補償系統，其特征在于，所述半包圍滑塊包括相對設置的第一直板和第二直板，所述第一直板和所述第二直板通過第三直板連接，所述第二直板的外壁設有一彎板，所述第二直板和所述彎板之間的空隙組成可供所述第二同步帶穿過的通道，所述第二同步帶與所述彎板的其中一內壁固定設置，使所述半包圍滑塊跟隨所述第二同步帶做直線運動。

4.如權利要求2所述的一種光柵尺的誤差補償系統，其特征在于，所述第二同步輪的直徑大于所述第一同步輪的直徑，所述第三同步輪的直徑與所述第四同步輪的直徑相同。

5.如權利要求2所述的一種光柵尺的誤差補償系統，其特征在于，所述第一平臺和所述第二平臺的兩側的連接處各設有一固定板，所述電機固定架設置在其中一所述固定板上，所述固定架設置在另一所述固定板上，兩所述固定板均設有可供所述第二同步帶穿過的通孔。

6.如權利要求1所述的一種光柵尺的誤差補償系統，其特征在于，所述第三平臺的頂面兩側各設有一限位架，所述分光鏡設置在其中一所述限位架的頂面。

7.如權利要求1所述的一種光柵尺的誤差補償系統，其特征在于，所述第一平臺設置在支架上，所述第一平臺和所述支架之間均勻設置六個調平螺絲。

8.如權利要求1所述的一種光柵尺的誤差補償系統，其特征在于，所述第一平臺靠近所述激光頭的一側設有空氣過濾器和壓力調節閥，所述空氣過濾器和壓力調節閥通過氣管與所述氣浮塊連通。

9.如權利要求1所述的一種光柵尺的誤差補償系統，其特征在于，所述第一平臺、第二平臺和第三平臺均采用大理石材質。