[實用新型]一種多晶硅鑄錠爐

有效

• 申請號: 201720805624.X
• 申請日: 2017-07-05
• 公開（公告）號: CN207537596U
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發明（設計）人: 陳旭光;張濤
• 申請（專利權）人: 鎮江仁德新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06;C30B29/60
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 賈郡

本實用新型提出了一種多晶硅鑄錠爐，所述鑄錠爐包括圓柱形爐體、隔熱籠、側加熱器、坩堝、坩堝側護板、坩堝底護板、冷凝塊；坩堝的矩形側壁數為n；坩堝的側護板有n個面，分別對應坩堝的n個側壁；坩堝的底護板為邊數為n的多邊形。隔熱籠的側面有n個面，分別對應坩堝的n個側壁。側加熱器的側面有n個面，分別對應坩堝的n個側壁。冷凝塊為邊數為n的多邊形。n＞4。本實用新型中的坩堝及熱場，可鑄造出側面大于四面的多面柱狀硅錠，相對四個側面柱狀的硅錠，更多側面面的柱狀硅錠，單爐裝料量更多、產量更高、生產率更高。提高現有圓柱形爐體的利用率和產量，降低生產成本。

技術領域

本實用新型涉及多晶硅片、鑄造單晶硅片制造領域，具體涉及一種多晶硅鑄錠爐。

背景技術

現有的用于制造晶硅鑄錠的坩堝及熱場為四方形，只能鑄造出形狀為四方體的硅錠，不能充分發揮圓柱形爐體的空間，影響了鑄錠爐的生產效率。

實用新型內容

針對上述現有技術的不足，本實用新型提供一種多晶硅鑄錠爐，能夠鑄造出側面大于四面的多面柱狀硅錠。

為實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種多晶硅鑄錠爐，包括圓柱形爐體，圓柱形爐體內設有隔熱籠，隔熱籠內設有坩堝，坩堝的外側包覆有坩堝側護板和坩堝底護板，坩堝側護板外設置有用于對坩堝加熱形成熱場的側加熱器，坩堝底護板底部設置有冷凝塊；所述坩堝的側壁數為n；與坩堝的n個側壁相對應的，坩堝側護板的個數為n，坩堝底護板為邊數為n的多邊形，隔熱籠的側面數為n，側加熱器的側面數為n，冷凝塊為邊數為n的多邊形；所述n為正整數，且大于4；所述坩堝的側壁與多邊形鑄錠的側面相對應，兩者數量相同。

本實用新型具有如下有益效果：本實用新型中的坩堝及熱場，可鑄造出側面大于四面的多面柱狀硅錠，相對四個側面柱狀的硅錠，更多側面面的柱狀硅錠，單爐裝料量更多、產量更高、生產率更高。提高現有圓柱形爐體的利用率和產量，降低生產成本。

附圖說明

圖1本實用新型的結構示意圖；

圖中標號：1、晶硅鑄錠；2、圓柱形爐體；3、隔熱籠；4、側加熱器；5、坩堝側護板； 6、坩堝；7、坩堝的底護板；8、冷凝塊。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步的描述。

如圖1所示，本實用新型提供的多晶硅鑄錠爐包括圓柱形爐體2，圓柱形爐體2內設有隔熱籠3，隔熱籠3內設有坩堝6，坩堝6的外側包覆有坩堝側護板5和坩堝底護板7，坩堝側護板5外設置有用于對坩堝6加熱形成熱場的側加熱器4，坩堝底護板7 底部設置有冷凝塊8。坩堝6的矩形側壁數為n，n＞4；坩堝的側護板5有n個面，分別對應坩堝6的n個側壁；坩堝的底護板7為邊數為n的多邊形。隔熱籠3的側面有n個面，分別對應坩堝6的n個側壁。側加熱器4的側面有n個面，分別對應坩堝6的n個側壁。冷凝塊8為邊數為n的多邊形。利用上述多晶硅鑄錠爐能夠制造出側面數為n的多邊形鑄錠，n＞4，多邊形鑄錠的側面與坩堝的側壁相對應。

實施例1：

1.根據設計得到側面數為5的隔熱籠、坩堝側護板數量為5、邊數為5的冷凝塊、5側加熱器側面為5的熱場。

2.將硅料放入側邊為5的多邊形坩堝中，然后放于設計好的熱場中進行鑄錠；

3.最終通過工藝融化長晶過程將得到側邊為5的多邊型硅錠。

在不改變原有的鑄錠爐體的情況下，可鑄出的多邊形晶硅錠體積增大，從而達到單爐裝料量更多、產量更高、生產率更高。提高現有圓柱形爐體的利用率和產量，降低生產成本。

以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出：對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。