[實用新型]一種探針接觸測試系統

有效

• 申請號: 201720804491.4
• 申請日: 2017-07-04
• 公開（公告）號: CN207051322U
• 公開（公告）日: 2018-02-27
• 發明（設計）人: 楊波;劉振輝;韋日文;李景均
• 申請（專利權）人: 深圳市矽電半導體設備有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及半導體檢測技術領域，特別涉及一種探針接觸測試系統。

背景技術

現有技術的探針接觸測試系統中，探針往往保持不動，電機帶動支撐測試芯粒的載片臺上下運動，直至電極接觸到探針，從而進行測試。

但是，這些系統在進行接觸測試的過程中，由于需要驅動體積及重量較大的載片臺上下移動，整個設備的體積往往較大，控制較為復雜，而且不利于節省能源。

實用新型內容

本實用新型實施例的目的是提供一種探針接觸測試系統，解決了常見探針接觸測試系統在使用時，需要驅動體積及重量較大的載片臺上下移動的問題。

本實用新型的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：一種探針接觸測試系統，包括：機架；設于機架上的、供測試芯粒固定并帶動所述測試芯粒沿橫向和縱向移動的載片臺機構；以及，若干設于所述機架上的、固定有若干對測試芯粒進行接觸測試的探針組件的、帶動所述探針組件豎向上下移動以接觸所述測試芯粒的探針座。

通過采用上述技術方案，在對測試芯粒進行接觸測試的過程中，載片臺機構可以帶動測試芯粒在水平方向上，橫向以及縱向運動，探針座可以探針組件的豎向上下移動，從而無需驅動體積及重量較大的載片臺上下移動，減小豎直方向上克服載片臺機構重量而做的功，從而使得整個探針接觸測試設備的體積變小，控制也隨著探針組件易于驅動而變得簡便，有效提升了測試的精確度，更主要的是，探針組件相對于載片臺體積和重量更小，有利于節省能源。

進一步的，所述探針座包括：座體；設于所述座體且豎向布置的滾珠絲杠，所述滾珠絲杠包括：絲桿，以及螺紋裝配于所述絲桿的、被所述絲桿傳動以豎向上下移動的滑套；固定于所述座體的、受一控制中心控制并帶動所述絲桿動作的驅動機構；以及，供所述探針組件固定的、固定裝配于所述滑套的安裝機構。

通過采用上述技術方案，驅動機構可以帶動絲桿轉動，從而驅使滑套升降，由于滑套和探針組件之間通過安裝機構牢固連接，實現探針組件的豎向上下移動。

進一步的，所述驅動機構包括：通過一電機座固定于所述座體的伺服電機；以及，設于所述絲桿和所述伺服電機的轉軸之間的、帶動所述絲桿沿豎向軸線轉動的傳動件。

通過采用上述技術方案，伺服電機在轉動時，通過傳動件實現帶動絲桿同步轉動，使得該驅動機構更加易于控制，而且實現自動化驅使探針組件升降，同時還具有較佳的穩定性。

進一步的，所述探針座還包括：固定于所述座體的、設有若干散熱孔的、以阻止外界物體撞擊所述伺服電機的防護罩。

通過采用上述技術方案，防護罩在對伺服電機具有保護作用，以使伺服電機的使用壽命更長；同時由于散熱孔的結構，有助于伺服電機快速散熱，進一步延長了伺服電機的使用壽命。

進一步的，所述安裝機構包括：供所述探針組件固定的安裝板；以及，固定于所述安裝板的相對于所述探針組件的一側、固定裝配于所述滑套的支座。

通過采用上述技術方案，探針組件固定于安裝板，安裝板通過支座固定于被絲桿傳動的滑套，從而實現探針組件被驅使上下移動的功能，該結構制作簡單，易于實現且穩定性高。

進一步的，所述探針座還包括：固定于所述機架的底板；橫向滑動式裝配于所述底板的第一板，設于所述第一板和所述底板之間的、驅使所述第一板相對于所述底板橫向滑移的第一微調組件；以及，縱向滑動式裝配于所述第一板的、固定于所述座體的第二板，設于所述第一板和所述第二板之間的、驅使所述第二板相對于所述第一板縱向滑移的第二微調組件。

通過采用上述技術方案，在探針組件相對于測試芯粒的位置需要調節時，第一微調組件驅使第一板相對于底板橫向滑移，第二微調組件驅使第二板相對于第一板縱向滑移，從而可以實現對探針組件進行縱向及橫向微調，這種結構調節更加方便而且精確度更高。

進一步的，所述機架包括：供所述載片臺機構固定的下臺面板；與所述下臺面板平行布置的、供所述探針座固定的上臺面板，所述上臺面板設有供所述測試芯粒漏出以和所述探針組件進行接觸測試的預留孔，所述探針座安裝于所述預留孔周圍；以及，設于所述上臺面板和所述下臺面板的兩側之間的支撐結構。

通過采用上述技術方案，由于測試芯粒需要被載片臺機構帶動橫向以及縱向運動，探針組件需要被探針座帶動豎向運動，載片臺機構與探針座分層布置有利于節省該探針接觸測試系統的空間，從而穩定性更高，間接提升了測試精確度。