[實用新型]一種用于樣品形貌的檢測裝置有效
| 申請號： | 201720795522.4 | 申請日： | 2017-07-03 |
| 公開（公告）號： | CN207147427U | 公開（公告）日： | 2018-03-27 |
| 發明（設計）人： | 張浩 | 申請（專利權）人： | 翔鷹航空工業有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 南昌贛專知識產權代理有限公司36129 | 代理人： | 文珊,劉錦霞 |
| 地址： | 334200 *** | 國省代碼： | 江西;36 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 樣品 形貌 檢測 裝置 | ||
1.一種用于樣品形貌的檢測裝置，其特征在于：包括激光器(1)、反射鏡(2)、光電二極管(3)、控制器(4)、用于掃描待檢測樣品(11)的掃描器(5)、以及用于檢測所述待檢測樣品(11)的探針(6)；
所述激光器(1)位于所述反射鏡(2)入射光的一側；所述探針(6)位于所述反射鏡(2)的下方；所述掃描器(5)位于所述探針(6)的下方；所述控制器(4)的第一接口與所述光電二極管(3)的負極電連接，所述控制器(4)的第二接口與所述掃描器(5)電連接。
2.如權利要求1所述的一種用于樣品形貌的檢測裝置，其特征在于：
還包括光電探測器(7)；
所述光電探測器(7)位于所述反射鏡(2)的出射光所在側。
3.如權利要求2所述的一種用于樣品形貌的檢測裝置，其特征在于：
還包括準直器(8)；
所述準直器(8)的第一端位于所述光電探測器(7)的輸出端所在側，所述準直器(8)的第二端與所述光電二極管(3)的正極電連接。
4.如權利要求1所述的一種用于樣品形貌的檢測裝置，其特征在于：
還包括顯示器(9)；
所述顯示器(9)與所述控制器(4)的第三接口電連接。
5.如權利要求1所述的一種用于樣品形貌的檢測裝置，其特征在于：
所述掃描器(5)配置為壓電晶體掃描器。
6.如權利要求2所述的一種用于樣品形貌的檢測裝置，其特征在于：
所述光電探測器(7)配置為CMOS感光器。
7.如權利要求1所述的一種用于樣品形貌的檢測裝置，其特征在于：
所述反射鏡(2)配置為激光譜線反射鏡。
8.如權利要求7所述的一種用于樣品形貌的檢測裝置，其特征在于：
所述激光譜線反射鏡的波長是1064nm。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于翔鷹航空工業有限公司，未經翔鷹航空工業有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201720795522.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種形變傳感器
- 下一篇：一種點激光四軸掃描裝置
