[實用新型]一種顯影設備

有效

• 申請號: 201720794552.3
• 申請日: 2017-07-03
• 公開（公告）號: CN206930898U
• 公開（公告）日: 2018-01-26
• 發明（設計）人: 梁新順;張濤;馬雛雛;韓錦偉;霍學兵;劉宸
• 申請（專利權）人: 阜陽欣奕華材料科技有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本申請涉及光刻膠技術領域，尤其涉及一種顯影設備。

背景技術

隨著國內半導體行業的發展，國內面板行業飛速發展，面板廠對光刻膠的種類、穩定性以及精密程度要求越來越高，相應的對實驗室樣品顯影的均勻穩定測試所能夠達到的效果要求也越來越高。

實驗室對負性光刻膠的測試流程一般是涂膜、前烘、曝光、顯影、后烘，而由于面板的高分辨率、高透過率、低膜厚的要求，上述測試流程中顯影結果必須穩定均勻，邊緣整齊無毛刺，像素條寬度均勻一致。

目前負性光刻膠的顯影方式一般是手持前烘后的玻璃在配制好的顯影液內左右搖晃一定的時間后取出，烘干，此方法會受到搖擺的速度、幅度以及顯影液重復使用的次數影響，且與面板廠大型的顯影設備差異較大。

發明內容

本申請實施例提供了一種顯影設備，用以實現基板均勻穩定顯影，滿足光刻膠基板高分辨率、高透過率、低膜厚的要求。

本申請實施例提供的一種顯影設備，包括用于固定需要噴涂顯影液的基板的固定裝置，以及與所述固定裝置相對設置、用于向所述基板噴涂顯影液的噴涂裝置，其中，所述噴涂裝置在噴涂顯影液過程中在平行于所述基板的面上按照預設方式移動，使得顯影液均勻噴涂在所述基板上。

本申請實施例提供的一種顯影設備，該顯影設備的噴涂裝置在平行于所述基板的面上按照預設方式移動，其中預設方式移動，例如：噴涂裝置以一定的移動軌跡、移動時間、移動頻率以及移動范圍進行噴涂顯影液，以保證基板均勻穩定顯影，實現光刻膠基板高分辨率、高透過率、低膜厚的要求。

可選地，所述噴涂裝置包括噴頭體、連桿機構、固定架以及第一電機，所述噴頭體與所述固定架連接，所述固定架通過連桿機構與所述第一電機連接。

可選地，所述噴頭體在噴涂顯影液過程中在平行于所述基板的面上的移動軌跡為直線或曲線。

本申請實施例提供的顯影設備，噴頭體在噴涂顯影液過程中在平行于所述基板的面上移動軌跡為直線或曲線，可以使得需要噴涂顯影液的基板各個地方受到的噴淋壓力相同，進而實現基板的均勻顯影。

可選地，所述固定架包括水平桿、豎直桿和顯影設備平臺，所述噴頭體與所述水平桿的一端連接，所述水平桿的另一端與所述豎直桿的頂端固定連接，所述豎直桿底端通過軸承以及軸承座活動連接于所述顯影設備平臺上。

可選地，所述連桿機構包括第一連桿、第二連桿以及第三連桿，所述第一連桿上設有用于與所述第二連桿鉸接的鉸接點和用于使得所述鉸接點可以沿著所述第一連桿的延伸方向來回移動的滑塊及滑道，所述第二連桿連接于所述第三連桿和第一連桿之間，所述第三連桿的一端與所述第二連桿鉸接，其另一端與所述第一電機的轉動軸連接。

本申請實施例提供的顯影設備，設置在所述第一連桿上的鉸接點以及用于使得鉸接點可以沿著第一連桿的延伸方向來回移動的滑塊及滑道，隨著滑塊的移動，鉸接點的位置發生改變，使得鉸接點與豎直桿之間的距離發生改變，可以使得噴涂裝置的移動幅度發生改變，進而使得噴頭體的噴淋范圍發生改變，此結構方便控制噴頭體的噴淋范圍，可以有效防止噴淋范圍過小無法覆蓋基板整體，噴淋范圍過大造成噴淋損失的問題。

可選地，所述噴頭體包括用于噴淋顯影液的第一噴頭和用于噴淋水的第二噴頭，所述第一噴頭的噴孔、所述第二噴頭的噴孔均與所述基板相對設置。

本申請實施例提供的顯影設備，噴頭體包括第一噴頭和第二噴頭，第一噴頭用于噴涂顯影液，第二噴頭用于噴淋純水，將顯影液與純水分離開，避免互相造成污染，還可以在噴完顯影液后利用該顯影裝置噴淋純水，避免在噴淋純水時對顯影液的均勻度及穩定性造成影響。

可選地，還包括用于用戶切換所述第一噴頭與所述第二噴頭工作的操作裝置。

本申請實施例提供的顯影設備，當第一噴頭噴淋顯影液后，操作裝置可以自動或人工控制第二噴頭進行噴淋純水，簡單方便。

可選地，還包括用于控制所述第一噴頭、所述第二噴頭每次工作的工作時間及時長的控制部件。

本申請實施例提供的顯影設備，控制部件用于控制第一噴頭與第二噴頭的工作時間，避免人工操作造成的時間差，保證每個基板噴淋顯影液的均勻度與穩定性。

可選地，所述固定裝置包括基臺以及設置在所述基臺上的用于支撐所述基板的支撐平臺。

可選地，所述固定裝置中設置有第二電機，用于在噴涂顯影液過程中，控制所述支撐平臺帶動所述基板按照預設方向勻速旋轉。