[實(shí)用新型]一種防污染碳化硅晶體生長(zhǎng)裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720786633.9 | 申請(qǐng)日： | 2017-06-30 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN207109144U | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-03-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 宗艷民;柏文文 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 山東天岳先進(jìn)材料科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B29/36 | 分類號(hào)： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250100 山東省濟(jì)南市高新區(qū)*** | 國(guó)省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 污染 碳化硅 晶體生長(zhǎng) 裝置 | ||
1.一種防污染碳化硅晶體生長(zhǎng)裝置，包括爐體(1)和爐蓋(2)，爐體(1)內(nèi)設(shè)有坩堝(3)，其特征在于：爐蓋(2)上嵌有觀察窗(4)；爐蓋(2)內(nèi)側(cè)旋轉(zhuǎn)桿I(5)，旋轉(zhuǎn)桿I(5)上與觀察窗(4)對(duì)應(yīng)位置設(shè)有擦拭裝置(6)和和收集盒(7)，擦拭裝置(6)位于收集盒(7)上方；旋轉(zhuǎn)桿I(5)通過(guò)旋轉(zhuǎn)桿II(8)與爐蓋(2)相連，旋轉(zhuǎn)桿II(8)與爐蓋(2)上方的把手(9)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防污染碳化硅晶體生長(zhǎng)裝置，其特征在于：所述的收集盒(7)的橫截面積大于擦拭裝置(6)的橫截面積。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防污染碳化硅晶體生長(zhǎng)裝置，其特征在于：所述的坩堝(3)具有真空夾層(10)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防污染碳化硅晶體生長(zhǎng)裝置，其特征在于：所述坩堝(3)的坩堝壁與坩堝底通過(guò)弧形拐角(11)連接。
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