[實用新型]一種基于微透鏡陣列和振鏡掃描的高速高分辨率LBIC設備

有效

• 申請號: 201720782042.4
• 申請日: 2017-06-30
• 公開（公告）號: CN206862890U
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 胡愛蘭;張宏超;姚小進
• 申請（專利權）人: 上海尚樸光電技術有限公司
• 主分類號: G01N21/55
• 分類號: G01N21/55;G01N21/84;G01R31/26
• 代理公司: 北京君泊知識產權代理有限公司11496
• 代理人: 王程遠

1.一種基于微透鏡陣列和振鏡掃描的高速高分辨率LBIC設備，包括連續激光器(1)、光纖準直器(3)、一號分光鏡(5)、振鏡(6)、場鏡(7)、二維壓電平移臺(10)、二號分光鏡(11)和相機(15)，其特征在于：所述連續激光器(1)的接口上插接有光纖(2)，光纖(2)的輸出端插接在光纖準直器(3)上；所述光纖準直器(3)位于斬波器(4)的一側，斬波器(4)的另一側設置有一號分光鏡(5)；所述一號分光鏡(5)位于振鏡(6)的一側，光纖準直器(3)、斬波器(4)和一號分光鏡(5)與振鏡(6)設置在同一條直線上，振鏡(6)設置在場鏡(7)的上方；所述場鏡(7)的下方設置有微透鏡陣列(8)，微透鏡陣列(8)位于樣品(9)的上方，樣品(9)位于二維壓電平移臺(10)的上方，振鏡(6)、場鏡(7)、微透鏡陣列(8)均位于二維壓電平移臺(10)的上方，并與二維壓電平移臺(10)處在同一豎直軸線上；所述一號分光鏡(5)的下方垂直設置有第一能量探頭(12)，一號分光鏡(5)的上方垂直設置有二號分光鏡(11)；所述二號分光鏡(11)的一側設置有第二能量探頭(13)，第二能量探頭(13)位于第一能量探頭(12)的上方；所述二號分光鏡(11)的上方垂直設置有成像鏡頭(14)，成像鏡頭(14)位于相機(15)的下方，相機(15)、成像鏡頭(14)、二號分光鏡(11)、一號分光鏡(5)及第一能量探頭(12)位于同一豎直軸線上。

2.根據權利要求1所述的一種基于微透鏡陣列和振鏡掃描的高速高分辨率LBIC設備，其特征在于：所述連續激光器(1)發射的探測激光依次通過振鏡(6)、場鏡(7)和微透鏡陣列(8)聚焦在樣品(9)表面。

3.根據權利要求1所述的一種基于微透鏡陣列和振鏡掃描的高速高分辨率LBIC設備，其特征在于：所述連續激光器(1)輸出能量0～100mW連續可調。

4.根據權利要求1所述的一種基于微透鏡陣列和振鏡掃描的高速高分辨率LBIC設備，其特征在于：所述二維壓電平移臺(10)步進精度為納米級，行程為百微米量級。

5.根據權利要求1所述的一種基于微透鏡陣列和振鏡掃描的高速高分辨率LBIC設備，其特征在于：所述微透鏡陣列(8)直徑小于二維壓電平移臺(10)最大行程。

6.根據權利要求1所述的一種基于微透鏡陣列和振鏡掃描的高速高分辨率LBIC設備，其特征在于：所述微透鏡陣列(8)聚焦焦斑可達1微米。

7.根據權利要求1所述的一種基于微透鏡陣列和振鏡掃描的高速高分辨率LBIC設備，其特征在于：所述樣品(9)表面位于微透鏡陣列(8)的焦點上。

8.根據權利要求1所述的一種基于微透鏡陣列和振鏡掃描的高速高分辨率LBIC設備，其特征在于：所述微透鏡陣列(8)分辨率不小于50*50。

9.根據權利要求1所述的一種基于微透鏡陣列和振鏡掃描的高速高分辨率LBIC設備，其特征在于：所述振鏡(6)掃描光束均通過微透鏡陣列(8)單個透鏡的中心。

10.根據權利要求1所述的一種基于微透鏡陣列和振鏡掃描的高速高分辨率LBIC設備，其特征在于：所述相機(15)的光敏面和樣品(9)表面滿足物像共軛關系。

11.根據權利要求1所述的一種基于微透鏡陣列和振鏡掃描的高速高分辨率LBIC設備，其特征在于：所述一號分光鏡(5)和二號分光鏡(11)的分光比均為1:10。

12.根據權利要求1所述的一種基于微透鏡陣列和振鏡掃描的高速高分辨率LBIC設備，其特征在于：所述場鏡(7)聚焦在微透鏡陣列(8)的光斑尺寸小于微透鏡陣列(8)單個透鏡的直徑。