[實用新型]一種LED分膜擴晶設備有效
| 申請號: | 201720781994.4 | 申請日: | 2017-06-30 |
| 公開(公告)號: | CN207009410U | 公開(公告)日: | 2018-02-13 |
| 發明(設計)人: | 張炳權;李衛;翁平 | 申請(專利權)人: | 鴻利智匯集團股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司: | 廣州中浚雄杰知識產權代理有限責任公司44254 | 代理人: | 劉剛成 |
| 地址: | 510890 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 led 分膜擴晶 設備 | ||
1.一種LED分膜擴晶設備,包括機架,在機架上設有分膜機構和擴晶機構,其特征在于:所述分膜機構包括傳輸裝置、上滾輪、下滾輪、第一機械臂、吸附UV膜裝置和弧形壓板,傳輸裝置處于上滾輪和下滾輪的左側,弧形壓板處于上滾輪和下滾輪的右側,第一機械臂處于弧形壓板的右側,吸附UV膜裝置設在第一機械臂上,所述擴晶機構包括擴晶模具平臺、第二機械臂和上下驅動機構,在擴晶模具平臺上設有外壓環,在上下驅動機構的驅動端設有能與外壓環配合的內壓環,在第二機械臂上設有定位壓環。
2.按權利要求1所述的LED分膜擴晶設備,其特征在于:在弧形壓板的右側設有弧形導向槽,弧形導向槽的槽通道寬度與上滾輪、下滾輪的寬度相同。
3.按權利要求1所述的LED分膜擴晶設備,其特征在于:所述內壓環為上大下小的圓錐結構,所述外壓環的內腔體為上大下小的圓錐結構。
4.按權利要求1所述的LED分膜擴晶設備,其特征在于:所述上下驅動機構包括擴晶支架,在擴晶支架上設有驅動氣缸,內壓環與驅動氣缸的驅動端連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





