[實用新型]泡生法單晶爐裝置

有效

• 申請號: 201720781761.4
• 申請日: 2017-06-30
• 公開（公告）號: CN206986328U
• 公開（公告）日: 2018-02-09
• 發明（設計）人: 呂立強;陳有生
• 申請（專利權）人: 上海朗兆機電設備有限公司
• 主分類號: C30B17/00
• 分類號: C30B17/00;C30B29/20
• 代理公司: 上海順華專利代理有限責任公司31203
• 代理人: 顧雯

1.泡生法單晶爐裝置，其特征在于，包括：

底架(1)，所述底架(1)底部固定，上部水平面固定反應腔體(3)，所述底架(1)的側面固定立柱(2)，所述立柱(2)與底架(1)的上部水平面相互垂直；

所述立柱(2)上設有旋轉裝置(4)，所述旋轉裝置(4)的伸長端設有提升裝置(5)，所述旋轉裝置(4)帶動提升裝置(5)繞立柱(2)轉動，所述提升裝置(5)做直線運動，朝向反應腔體(3)；

抽真空裝置(7)，所述抽真空裝置(7)與反應腔體(3)導通，位于底架(1)的側面，兩側分別放置電源柜(6)和控制柜(8)，所述抽真空裝置(7)和立柱(2)分別位于底架(1)的相對側。

2.根據權利要求1所述的泡生法單晶爐裝置，其特征在于，所述底架(1)和立柱(2)的底部分別通過螺栓固定，所述螺栓數量為三個以上，分布在四周。

3.根據權利要求1所述的泡生法單晶爐裝置，其特征在于，所述底架(1)的上部水平面為正方形，所述立柱(2)為長方體，所述反應腔體(3)圓柱狀，并固定在底架(1)的上部水平面中部。

4.根據權利要求3所述的泡生法單晶爐裝置，其特征在于，所述底架(1)的一側設置立柱(2)，相對一側和鄰近一側的夾角處設置抽真空裝置(7)，相對一側和鄰近一側分別放置電源柜(6)和控制柜(8)。

5.根據權利要求1所述的泡生法單晶爐裝置，其特征在于，所述旋轉裝置(4)繞立柱(2)的縱向轉動。

6.根據權利要求1所述的泡生法單晶爐裝置，其特征在于，所述提升裝置(5)通過驅動電機帶動升降裝置直線運動。

7.根據權利要求1所述的泡生法單晶爐裝置，其特征在于，所述電源柜(6)分別連接反應腔體(3)，提升裝置(5)，抽真空裝置(7)和控制柜(8)。

8.根據權利要求1所述的泡生法單晶爐裝置，其特征在于，所述控制柜(8)分別控制反應腔體(3)，提升裝置(5)和抽真空裝置(7)。