[實用新型]鍵合絲連鑄爐

有效

• 申請號: 201720781335.0
• 申請日: 2017-06-30
• 公開（公告）號: CN206936315U
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發明（設計）人: 陳永金;吳應海;鮑勝燕;陳海健;陳伙輝;鐘遠標;龍滿星
• 申請（專利權）人: 深圳市金鼎豐貴金屬設備科技有限公司
• 主分類號: B22D11/14
• 分類號: B22D11/14;B22D11/113;B22D11/114;B22D11/055;B22D11/08
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙)11348
• 代理人: 侯蔚寰

技術領域

本實用新型涉及設備，具體的說是涉及鍵合絲連鑄爐。

背景技術

鍵合絲是封裝的關鍵材料之一，它的功能是實現半導體芯片與引腳的電連接，起著芯片與外界的電流導入和導出的作用。

現有技術中，鍵合絲材料在真空爐熔化，再經模具鍛壓，由于模具的長度限制，鍵合絲只能制成固定長度，而且生產出的鍵合絲缺陷較多，其具體缺陷如下：

1.產品雜質較多，品質不穩定；

2.合金均勻性差；

3.產能低；

4.產品表面易氧化，結晶效果較差；

5.冷凝控制不好，合金排布不均勻；

6.在做超細鍵合絲過程時容易斷裂；

因此，迫切需要一種鍵合絲連鑄爐設備來解決上述問題。

實用新型內容

針對現有技術中的不足，本實用新型要解決的技術問題在于提供了鍵合絲連鑄爐，該鍵合絲連鑄爐能夠在高真空狀態下連鑄，不間斷鑄造鍵合絲。

為解決上述技術問題，本實用新型通過以下方案來實現：鍵合絲連鑄爐，該連鑄爐包括集成線路的饋線柜、安裝于饋線柜鄰側的安裝架，該安裝架設有兩層，中間是安裝板，所述連鑄爐還包括：

金屬熔料部，所述金屬熔料部置于連鑄爐的頂部，其設有加熱裝置、偏心攪拌裝置，加熱裝置用于將金屬熔化，偏心攪拌裝置還連接有二次加料裝置，金屬熔化成液態后偏心攪拌裝置持續攪拌，液態金屬均勻后牽引棒向下運動；

冷卻部，所述冷卻部與金屬熔料部下端連接，其包括冷卻銅模及設置于冷卻銅模內的水冷卻循環管路，冷卻銅模中部是導引孔，牽引棒沿該導引孔向下運動，冷卻銅模和水冷卻循環管路對液態金屬冷卻固化，形成鍵合絲；

真空部，所述真空部與所述金屬熔料部、冷卻部連通，在抽真空后，真空部、金屬熔料部、冷卻部連通的腔室全部是真空狀態，所述真空部置于冷卻部的下端、所述安裝板的上表面，其外側壁設有能夠打開的觀察窗、與真空泵連接的端口，所述真空部內腔底面中部設有導引裝置，導引裝置設有導引孔，牽引棒沿該導引孔向下，牽拉固化后的鍵合絲向下運動；

導向部，所述導向部安裝于饋線柜的側部，其包括若干導向機構，導向機構用于夾持引導牽引棒及對鍵合絲的牽引并導向。

進一步的，所述金屬熔料部包括熔料爐、保溫層、保溫蓋、石英玻璃套管、加熱裝置、偏心攪拌裝置、二次加料裝置；

所述熔料爐為石墨坩堝，其底面為倒錐面，錐面中心設有下料孔，牽引棒未工作前是將所述下料孔封堵，所述熔料爐置于所述保溫層內，其上端蓋有保溫蓋，所述保溫層外套有石英玻璃套管，所述保溫層和石英玻璃套管下端都置于所述冷卻銅模上端，并在冷卻銅模連接處設置密封膠墊，所述石英玻璃套管上端設有套管蓋，并在其連接處設有密封膠墊，所述保溫層、保溫蓋均為高溫棉；

所述套管蓋的蓋體中部通孔處安裝有偏心攪拌裝置，所述偏心攪拌裝置包括電機安裝架、電機、驅動桿、攪拌器、雙氣缸，所述套管蓋中部通孔邊緣設置有帶通孔的圓柱，圓柱上端設置電機安裝架，所述電機安裝架水平外延伸一段距離，在電機安裝架的外側端垂直于電機安裝架，另一側套于驅動桿上，并在驅動桿的桿體上設置有被動輪，驅動桿下端連接所述攪拌器，所述攪拌器包括連接桿和圓盤，所述圓盤下端設置有偏心軸桿，所述圓盤及偏心軸桿設于石墨坩堝內腔中；所述電機上設置有主動輪，主動輪通過皮帶帶動被動輪，所述驅動桿的下端與攪拌器上的連接桿連接，所述連接桿中部為通孔，該通孔與所述石墨坩堝內腔連通，所述驅動桿中部通孔，其通孔與連接桿中部通孔連通；

所述攪拌器還連接有雙氣缸，所述雙氣缸用于下降或上升攪拌器；

所述驅動桿上端連接所述二次加料裝置，所述二次加料裝置包括二次加料抽桿、加料料斗倉，所述加料料斗倉置于偏心攪拌裝置的上端，其下端出料口與驅動桿上端口部連通，所述二次加料抽桿置于加料料斗倉的蓋體中部，其桿體下端延伸至加料料斗倉的出料口，在不加料時將出料口封堵；

所述石英玻璃套管外側、石墨坩堝的高度區域內設置有加熱裝置，所述加熱裝置包括非金屬繞線套筒、電磁線圈，所述電磁線圈繞制于非金屬繞線套筒外側壁上。

進一步的，所述熔料爐底面設有凹圈，在該凹圈內設有溫度傳感器。

進一步的，所述石墨坩堝下端中部擴孔，其擴孔與保溫層下部通孔、冷卻銅模的中部通孔內設置有一根石墨棒，所述石墨棒中部設置有導引孔，所述導引孔內插有牽引棒。