[實用新型]一種晶片清洗機水槽

有效

• 申請號: 201720780614.5
• 申請日: 2017-06-30
• 公開（公告）號: CN207057231U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發明（設計）人: 楚玉環
• 申請（專利權）人: 青島嘉星晶電科技股份有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/12
• 代理公司: 青島發思特專利商標代理有限公司37212
• 代理人: 鞏同海

技術領域

本實用新型涉及一種晶片清洗機水槽，屬于清洗設備技術領域。

背景技術

超聲波清洗是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進流作用對液體和污物直接、間接的作用，使污物層被分散、乳化、剝離而達到清洗目的。現有晶片清洗裝置均為QDR水槽，使用超聲波進行清洗，水槽作業時將晶片放于水槽底部，程序開始噴淋，但是晶片不旋轉，存在清洗死角，比如與卡塞接觸部位無法沖洗干凈，晶片頂部沖洗潔凈度更高；晶片表面潔凈度不一致，部分位置臟污聚集，影響潔凈良率。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有晶片清洗機水槽存在的上述缺陷，提出了一種晶片潔凈度高，潔凈度一致性好的晶片清洗機水槽。

本實用新型是采用以下的技術方案實現的：

一種晶片清洗機水槽，包括不銹鋼槽體和總水管，所述槽體內設有放置晶片的花籃，所述槽體頂部安裝有若干噴淋管，噴淋管的一端與總水管通過分水管Ⅰ連接，分水管Ⅰ上設有氣動閥Ⅰ，所述槽體底部設有不連續鏤空底板，底板間隔內安裝有滾軸，滾軸連接有驅動裝置，所述槽體側板上滾軸的下部還開有進水口，進水口與總水管之間通過分水管Ⅱ連接，分水管Ⅱ上設有氣動閥Ⅱ，所述氣動閥Ⅰ、氣動閥Ⅱ、氣動泵、滾軸均與PLC控制器連接，所述槽體底板開有排水口。

進一步地，所述槽體的左右側板上開有若干用于安裝噴淋管的凹槽。

進一步地，所述槽體的前后側板開有鋸齒狀的溢流槽。

進一步地，所述鏤空底板的下方還安裝有與排水口匹配的氣動泵。

進一步地，所述噴淋管上安裝有若干噴頭，所述噴頭為廣角噴頭。

進一步地，所述驅動裝置包括電機和皮帶，皮帶的一端連接電機，另一端連接滾軸。

本實用新型的有益效果是：

使用廣角噴頭對晶片進行噴淋，噴淋角度廣、力度大，噴淋徹底；進水和排水在PLC控制下實現了快進快排的效果；清洗過程中，滾軸帶動晶片轉動，杜絕清潔死角；鋸齒狀溢流槽減少水的排出阻力，使得排水更順暢。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖2是本實用新型的俯視圖。

圖中：1水槽；2噴淋管；3滾軸；4鏤空底板；5噴頭；6溢流槽；7氣動閥Ⅰ；8氣動閥Ⅱ；9總水管；10進水口；11排水口；12氣動泵。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。

如圖1所示，本實用新型所述的一種晶片清洗機水槽1，包括不銹鋼槽體和總水管9，所述槽體內設有放置晶片的花籃，所述槽體頂部安裝有若干噴淋管2，噴淋管2上安裝有若干噴頭5，噴頭5為廣角噴頭5，噴淋管2的一端與總水管9通過分水管Ⅰ連接，另一端為封閉狀態，分水管Ⅰ上設有氣動閥Ⅰ7，所述槽體底部設有不連續鏤空底板4，底板間隔內安裝有滾軸3，滾軸3連接有驅動裝置，驅動裝置包括電機和皮帶，皮帶的一端連接電機，另一端連接滾軸3，所述槽體側板上滾軸3的下部還開有進水口10，進水口10與總水管9之間通過分水管Ⅱ連接，分水管Ⅱ上設有氣動閥Ⅱ8，所述氣動閥Ⅰ7、氣動閥Ⅱ8、氣動泵12、滾軸3均與PLC控制器連接，所述槽體底板開有排水口11。

槽體的左右側板上開有若干用于安裝噴淋管2的凹槽，槽體的前后側板開有鋸齒狀的溢流槽6，鏤空底板4的下方還安裝有與排水口11匹配的氣動泵12。

本實用新型的使用過程如下所述：

1、將晶片裝入花籃，花籃放置于水槽1內；

2、PLC控制器控制氣動閥Ⅰ7打開，總水管9的清洗液進入噴淋管2，噴淋管2的廣角噴頭5對晶片進行噴淋清洗，清洗液從排水口11流出，一段時間后PLC控制器控制氣動閥Ⅰ7關閉；

3、PLC控制器控制氣動閥Ⅱ8、滾軸3、氣動泵12打開，氣動泵12上移將排水口11堵住，清洗液從進水口10進入水槽1，滾軸3轉動帶動晶片轉動進行二次清洗，一段時間后PLC控制器控制氣動閥Ⅱ8、滾軸3、氣動泵12關閉，氣動泵12下移，清洗液從排水口11流出。

當然，上述內容僅為本實用新型的較佳實施例，不能被認為用于限定對本實用新型的實施例范圍。本實用新型也并不僅限于上述舉例，本技術領域的普通技術人員在本實用新型的實質范圍內所做出的均等變化與改進等，均應歸屬于本實用新型的專利涵蓋范圍內。