[實用新型]硅片親水性測試裝置及設備

有效

• 申請號: 201720776075.8
• 申請日: 2017-06-29
• 公開（公告）號: CN206850721U
• 公開（公告）日: 2018-01-05
• 發明（設計）人: 易書令;姜大俊;潘勵剛;鄭旭然;邢國強
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: H02S50/10
• 分類號: H02S50/10
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)11371
• 代理人: 金相允

1.一種硅片親水性測試裝置，其特征在于，包括：

定位板，所述定位板上開設有第一通孔；所述定位板的邊緣還連接有支撐柱，所述支撐柱與所述定位板可活動地連接，使定位板能夠沿所述支撐柱上下移動；

其中，定位板上開設的第一通孔與硅片待檢位置相對應。

2.根據權利要求1所述的硅片親水性測試裝置，其特征在于：

所述硅片親水性測試裝置還包括移液器；所述移液器與所述第一通孔相配合。

3.根據權利要求2所述的硅片親水性測試裝置，其特征在于：

所述移液器具備有第一容納腔以及與所述第一容納腔連通的吸頭；所述第一容納腔遠離所述吸頭的一端設置有與所述第一容納腔的內壁螺紋配合的推桿；所述推桿伸出至所述第一容納腔外。

4.根據權利要求2所述的硅片親水性測試裝置，其特征在于：

所述第一通孔具備有相連通的第一孔以及第二孔；所述第一孔的直徑大于所述第二孔的直徑；所述移液器外側套設有固定殼體；所述固定殼體容納在第一孔內；所述移液器的吸頭容納在所述第二孔內且伸出至第二孔外。

5.根據權利要求4所述的硅片親水性測試裝置，其特征在于：

所述固定殼體包括第一殼體以及與之相對的第二殼體；所述第一殼體與所述第二殼體可拆卸地連接并形成用于容納移液器的第二容納腔。

6.根據權利要求5所述的硅片親水性測試裝置，其特征在于：

所述固定殼體還包括固定柱；所述第一殼體設置有凸塊；所述第二殼體設置有與所述凸塊相對應的凹槽；所述凸塊開設有貫穿凸塊的第二通孔；所述第二殼體對應所述凸塊的位置開設有與所述第二通孔相對應的第三通孔；所述固定柱貫穿所述第二通孔以及所述第三通孔，使所述第一殼體與所述第二殼體可拆卸地連接。

7.根據權利要求1所述的硅片親水性測試裝置，其特征在于：

所述硅片親水性測試裝置還包括用于承載硅片的承載裝置；所述承載裝置與所述支撐柱連接；所述承載裝置設置在所述定位板的下方。

8.根據權利要求7所述的硅片親水性測試裝置，其特征在于：

所述承載裝置的邊緣設置有防滑條。

9.根據權利要求7所述的硅片親水性測試裝置，其特征在于：

所述承載裝置的承載平面邊緣開設有U型口。

10.一種硅片親水性測試設備，其特征在于：

所述硅片親水性測試設備包括至少兩個權利要求1至9任意一項所述的硅片親水性測試裝置；相鄰所述硅片親水性測試裝置之間可拆卸地連接。