[實用新型]一種鏤空式石墨舟卡點有效
| 申請號: | 201720774243.X | 申請日: | 2017-06-29 |
| 公開(公告)號: | CN207159346U | 公開(公告)日: | 2018-03-30 |
| 發明(設計)人: | 焦如意 | 申請(專利權)人: | 徐州鑫宇光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/458 | 分類號: | C23C16/458;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙)32251 | 代理人: | 陸金星 |
| 地址: | 221000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 鏤空 石墨 舟卡點 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種鏤空式石墨舟卡點,屬于太陽能電池制造技術領域。
背景技術
在太陽能電池片的制造過程中,硅片進行其表面鍍膜工序時,需要將未鍍膜的硅片插入PECVD 真空鍍膜設備的載片器上,目前,載片器通常采用石墨舟,具體操作過程是:將硅片插入石墨舟并通過石墨舟卡點定位于其上,然后,將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設備中,采用PECVD 工藝對硅片進行鍍膜。
石墨舟通過設置于石墨舟上的卡點承載待鍍膜的硅片,而傳統的卡點均為圓柱形,使用這種卡點鍍膜后的硅電池片表面被遮擋的面積較大,不僅會影響電池片的外觀,更會直接降低電池片的有效工作面積,進而降低電池片的轉換效率。
有鑒于此,開發一種新的石墨舟卡點,解決電池表面被遮擋面積較大的缺陷,顯然是有必要的。
發明內容
本實用新型的發明目的是提供一種鏤空式石墨舟卡點。
為達到上述發明目的,本實用新型采用的技術方案是:一種鏤空式石墨舟卡點,包括用于安裝在石墨舟片安裝孔中的安裝部、與所述安裝部固定連接的承載部和與所述承載部固定相連的限位部,所述限位部包括至少一個線條型結構,使得石墨舟舟片與限位部形成線性接觸,且所述線條型結構至少一個端部的高度高于所述承載部的最高點的高度。
優選地,所述限位部包括一個線條型結構,所述線條型結構呈U型。
進一步技術方案中,所述線條型結構的長度范圍為0.5mm~2mm,所述U型結構的兩條邊之間的距離范圍為0.3mm~0.7mm。
對于線條型結構的長度,本實用新型不做具體限定,典型但非限制性的可以是0.6mm、0.7mm、0.8mm、0.9mm、1.0mm、1.1mm、1.2mm、1.3mm、1.4mm、1.5mm、1.6mm、1.7mm、1.8mm、1.9mm等。
所述U型結構的兩條邊之間的距離范圍,可以是0.4mm、0.5mm、0.6mm等。
進一步技術方案中,所述限位部關于承載部的直徑對稱。
優選地,所述限位部包括一個線條型結構,所述線條型結構呈V型。
進一步技術方案中,所述限位部的長度范圍為0.5mm~2mm,所述V型結構的夾角角度范圍為0°~150°。
進一步技術方案中,所述限位部關于承載部的直徑對稱。
本實用新型中,線條型結構可以為彎曲的單線條形狀,例如U型、V型,U型的兩邊的高度可以相同,也可以有高有低,也就是非對稱,但兩個邊的端點的高度均高于承載部的圓盤的最高點的高度,低于安裝部的最高點的高度。
本實用新型中,限位部包括兩個線條型結構,線條型結構可以為直線型,線條型結構的一個端點高于承載部的圓盤的最高點的高度,最終效果與V型效果相同。
本實用新型中,卡槽的深度范圍為0.45mm~600mm。
由于上述技術方案運用,本實用新型與現有技術相比具有下列優點:
1.本實用新型的技術方案相對于現有技術方案,大大減少了遮擋面積,有利于提高電池片的外觀與電性能。
2.本實用新型的單個卡點至少兩個邊與電池相接觸,即每個電池片相當于6邊卡片,卡片效果好,減少成品的碎片率。
3.本實用新型的限位部呈線條型結構,限位部中間鏤空,可以有效減少氮化硅粉塵的堆積,有利于鍍膜放電時電場均勻分布。
4.本實用新型可以減少卡點的更換周期。
5.本實用新型結構新穎,效果好,適合推廣使用。
附圖說明
圖1是本實用新型的結構示意圖。
圖2是本實用新型實施例一的結構示意圖。
圖3是本實用新型實施例二的結構示意圖。
其中:1、安裝部;2、承載部;3、限位部。
具體實施方式
下面結合附圖及實施例對本發明作進一步描述:
實施例一:
參見圖1、圖2所示,一種鏤空式石墨舟卡點,包括用于安裝在石墨舟片安裝孔中的安裝部2、與所述安裝部固定連接的承載部2和與所述承載部固定相連的限位部,限位部3包括一個線條型結構,使得石墨舟舟片與限位部形成線性接觸,且線條型結構兩個端部的高度高于承載部2的最高點的高度。
本實施例中,限位部3包括一個線條型結構,所述線條型結構呈U型。
本實施例中,線條型結構的長度為0.6mm,所述U型結構的兩條邊之間的距離為0.4mm。
本實施例中,限位部3關于承載部的直徑對稱。
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C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
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C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





