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[實用新型]高純石英砂的磁選裝置有效

專利信息
申請號: 201720773803.X 申請日: 2017-06-29
公開(公告)號: CN206965910U 公開(公告)日: 2018-02-06
發明(設計)人: 張凌燕;謝大春 申請(專利權)人: 江蘇鑫億鼎石英科技股份有限公司
主分類號: B03C1/02 分類號: B03C1/02
代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙)32231 代理人: 滕詣迪
地址: 223600 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 高純 石英砂 磁選 裝置
【說明書】:

技術領域

實用新型涉及石英加工,特別涉及石英砂的提純設備。

背景技術

石英材料,具有一系列優良的物理化學性質,在電子工業產品制造過程中,由于不對電子材料及器件發生物理化學反應或污染,因此,作為生產大規模集成電路過程中晶片或器件的托盤、輸送載體材料。目前,石英材料已成為半導體電子工業生產過程中,不可替代的或缺少的重要伙伴材料,是大規模集成電路生產過程中重要的附助材料之一。

石英材料是由石英原料經高溫熔融而成。石英棒是一種性質非常優良的基礎材料之一;石英棒材料,具有一系列優良的物理、化學性能。它耐高溫、耐低溫、耐腐蝕(除氫氟酸以外),石英幾乎不和其它酸類物質發生化學反應,其耐酸能力是陶瓷的30倍,不銹鋼的120倍,尤其是在高溫下的化學穩定性,是其它任何工程材料都無法比擬的。在紫外光譜區到紅外光譜區的整個光譜波段,石英具有良好的透光性,可見光透過率在93%以上,特別是在紫外光譜區,最大透過率在80%以上。由于石英具有耐高溫和穩定性,且對半導體電子材料在生產過程中,不起任何化學與物理作用,是制造半導體電子工業器件的重要材料之一。

航空航天、軍工及半導體工業用石英棒具有純度高,耐高溫性強以及熱膨脹系數低的特點,是加工石英儀器器皿(集成電路用石英玻 璃,行業內統稱石英儀器器皿)的基體材料,是國內半導體工業發展不可缺少的關鍵性基礎材料。

目前,國內企業生產的石英砂生產出的石英棒質量不是太理想,滿足不了航空航天、軍工及半導體工業使用,主要原因便是作為生產原料的石英砂純度達不到要求。要獲得高純度的石英砂需要對其進行提純處理。現有技術中關于石英砂的提純工藝很多,通常包括:手工選礦,水洗,粗碎,細碎,篩分,磁選,酸洗,浮選,去離子水洗,烘干,最后獲得合格的石英砂。但現有技術中提純很容易因雜質的去除不徹底導致提純成本的上升,甚至是制成的材料為不合格品而帶來損失。特別是在磁選的步驟,如果不能把原料中的鐵質雜質清除,即會增加后續酸洗等步驟的工藝成本,也會影響提純后石英砂的質量。

實用新型內容

為了克服上述缺陷,本實用新型提供了一種高純石英砂的磁選設備,整體上降低提純工藝的成本,保證提純后獲得的石英砂的質量。

本實用新型通過以下技術方案實現:

所述磁選裝置包括圓筒狀的桶體,桶體上部有進料口,所述進料口通過進料管與風選設備對應的分級下料斗的出料口連通;在桶體內設有螺旋狀的溜槽,所述溜槽至少槽底為強磁性,溜槽的頂端設于進料口下方,溜槽的底端不封口,桶體的底部設有出料口。

所述進料口正下方設有弧形的導流槽,所述導流槽包括上表面光滑的弧形底板,弧形底板的兩側設有側板,所述弧形底板的寬度大于進料口的寬度,弧形底板的寬度不大于溜槽的寬度;導流槽的底端位 于溜槽的頂端正上方,進料口的下邊緣所在水平面的高度小于導流槽頂端所在水平面的高度。

所述導流槽底端出口處豎直設有控流板,在導流槽的側板內壁垂直設有豎直的滑槽,控流板的兩側側邊設于滑槽內,并與滑槽滑動配合,滑槽頂部不封口,所述控流板的高度不小于側板的高度,控流板的高度小于導流槽弧形底板的底端邊緣至桶體頂部的距離,所述控流板沿滑槽在豎直方向上往返運動。

所述控流板的上端設有豎直向上的直桿,所述直桿向上從桶體頂部穿出,桶體頂部對應直桿處設有豎直的套筒,套筒套設在直桿上,套筒底部固定在桶體頂部,套筒外壁上還水平設有頂緊螺栓,所述頂緊螺栓的軸心線垂直與直桿的軸心線,頂緊螺栓的前端抵住直桿的表面防止直桿上下運動。

所述溜槽至少槽底為鐵質材料,沿溜槽的底部下面等距設有若干強磁鐵。

桶體頂部敞口,敞口設有桶蓋,桶蓋中央設有豎直向下深入桶體的支柱,所述溜槽固定在支柱的周面上;所述進料口設于桶蓋上,導流槽的頂端固定在桶蓋下表面,套筒固定在桶蓋的上表面。

桶蓋的上表面還設有吊耳。

本實用新型的有益效果:

一、本實用新型的磁選裝置包括螺旋狀的溜槽,溜槽至少底部為強磁性,因此當石英砂從溜槽通過時,其還有的鐵質雜質會被吸附在溜槽底面上。由于溜槽為螺旋狀,因此長度很長,使石英砂在溜槽上 滯留時間長,提升除雜效果。

二、作為本實用新型改進的技術方案,在溜槽頂部設有導流槽,導流槽可以改變石英砂顆粒掉落方向,防止其掉落到溜槽時因撞擊蹦落到桶體下部的溜槽,尤其是雜質可能會與石英砂顆粒一起蹦落,從而出現雜質逃過磁性吸附,混入下一道工序。

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