[實用新型]一種半導體晶圓凸塊生產用推拉力測試機

有效

• 申請號: 201720773329.0
• 申請日: 2017-06-29
• 公開（公告）號: CN207268697U
• 公開（公告）日: 2018-04-24
• 發明（設計）人: 黃濤;袁泉;孫健;張慧;朱威莉;韓偉
• 申請（專利權）人: 江蘇納沛斯半導體有限公司
• 主分類號: G01N3/10
• 分類號: G01N3/10;G01N3/12;G01N3/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導體晶圓凸塊生產用推拉力測試機，包括固定底座（14），其特征在于：所述固定底座（14）的內部一側設置有蓄電池（17），所述蓄電池（17）的一側設置有液壓泵（16），所述液壓泵（16）的一側設置有液壓油箱（15），所述固定底座（14）的一側設置有急停開關（13），且固定底座（14）上方中間位置處設置有液壓缸（12），所述液壓缸（12）的兩側對稱設置有支撐柱（1），且液壓缸（12）通過液壓油管（18）與液壓泵（16）連接，所述液壓缸（12）的上方安裝有伸縮桿（19），所述伸縮桿（19）的上方設置有第二滑桿（11），所述第二滑桿（11）的上方安裝有下固定夾具（10），所述下固定夾具（10）的上方設置有上固定夾具（3），所述上固定夾具（3）通過安裝座（4）和連接桿（5）與第一滑桿（2）固定連接，所述第一滑桿（2）的上方中間位置處設置有潤滑油箱（6），所述潤滑油箱（6）的兩側對稱設置有潤滑油管（8），所述潤滑油管（8）上安裝有電磁閥（7），其中一個所述支撐柱（1）的一側安裝有KS02Y控制器（9），所述上固定夾具（3）包括有壓力臺（31）、PTS403壓力傳感器（32）、夾具本體（33）、固定板（34）、DEE拉力傳感器（35）、固定柱（36）、調節手柄（37）、調節旋鈕（38）和轉軸（39），所述夾具本體（33）上通過調節旋鈕（38）轉動連接有轉軸（39），所述轉軸（39）的上方設置有PTS403壓力傳感器（32），所述PTS403壓力傳感器（32）的上方設置有壓力臺（31），所述轉軸（39）的下方設置有固定板（34），且固定板（34）與轉軸（39）的連接位置處設置有DEE拉力傳感器（35），所述固定板（34）的兩側對稱設置有固定柱（36），所述固定柱（36）的一側安裝有調節手柄（37），所述PTS403壓力傳感器（32）、DEE拉力傳感器（35）、電磁閥（7）、急停開關（13）和液壓泵（16）均與KS02Y控制器（9）電性連接。

2.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓凸塊生產用推拉力測試機，其特征在于：所述第二滑桿（11）與支撐柱（1）滑動連接。

3.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓凸塊生產用推拉力測試機，其特征在于：所述固定底座（14）與液壓泵（16）通過螺栓固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓凸塊生產用推拉力測試機，其特征在于：所述安裝座（4）與連接桿（5）通過螺栓固定連接。

5.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓凸塊生產用推拉力測試機，其特征在于：所述支撐柱（1）與固定底座（14）通過焊接固定。