[實用新型]一種碳化硅長晶爐有效
| 申請號： | 201720771015.7 | 申請日： | 2017-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN207130359U | 公開（公告）日： | 2018-03-23 |
| 發明（設計）人： | 宗艷民;柏文文;宋建 | 申請（專利權）人： | 山東天岳先進材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/02 | 分類號： | C30B15/02;C30B15/04;C30B29/36 |
| 代理公司： | 濟南舜源專利事務所有限公司37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250101 山東省濟南市高新區新*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 碳化硅 長晶爐 | ||
1.一種碳化硅長晶爐，包括設在長晶爐上部的爐蓋(2)、設在長晶爐內的坩堝(1)，其特征是：所述爐蓋(2)上設有與長晶爐內部連通的安裝座孔(12)，在所述安裝座孔(12)上密封安裝有密閉的隔離艙(3)，所述隔離艙(3)內設有加料管(13)、可帶動加料管(13)上下移動的傳動機構，所述加料管(13)上端開口，其下端帶有落料孔，所述隔離艙(3)外部設有加料機構，所述加料機構包括落料管(4)和可轉動的加料倉(7)，所述落料管(4)的頭端連接有落料倉(5)，所述落料倉(5)與落料管(4)之間設有隔板(16)，所述隔板(16)的邊緣處帶有弧形狀的開口A(14)，所述加料倉(7)同軸設置在所述落料倉(5)內，所述加料倉(7)的底部與所述隔板(16)相接觸，所述加料倉(7)的底部帶有弧形狀的開口B(15)，所述加料倉(7)的傳動機構設置在所述落料倉(5)的上部，所述落料管(4)的下端穿過所述隔離艙(3)伸入所述加料管(13)內。
2.根據權利要求1所述的碳化硅長晶爐，其特征是：帶動加料管(13)上下移動的傳動機構包括伺服電機(8)、滾珠絲杠(11)、與所述滾珠絲杠(11)配合的絲母(10)，所述伺服電機(8)設置在隔離艙(3)外部，所述滾珠絲杠(11)的一端穿過隔離艙(3)位于隔離艙(3)內，所述絲母(10)與加料管(13)連接。
3.根據權利要求1所述的碳化硅長晶爐，其特征是：所述落料管(4)上設有保護氣體進入口(9)。
4.根據權利要求1所述的碳化硅長晶爐，其特征是：所述加料管(13)與長晶爐的中心線的夾角為45度-60度。
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