[實用新型]一種石墨舟有效
| 申請號: | 201720769824.4 | 申請日: | 2017-06-29 |
| 公開(公告)號: | CN207068820U | 公開(公告)日: | 2018-03-02 |
| 發明(設計)人: | 張明明;馬樹明;蔣萬昌;郭夢龍;王海超 | 申請(專利權)人: | 合肥海潤光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 230000 安徽省合肥*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石墨 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種太陽能電池片加工設備,尤其是一種石墨舟,具體地說是一種便于自動裝卸舟設備檢測正反的石墨舟,屬于晶體硅太陽能電池硅片制造技術領域。
背景技術
石墨舟是給太陽能電池片中的硅片鍍膜的載體。自動裝卸舟設備運行過程中,需要對石墨舟進行放片和取片動作,因石墨舟正反面工藝點的相對位置是不同的,機器人取放片時的程序和位置是相對固定的。目前,石墨舟正反都是由氣缸檢測裝置檢測電極孔來確認石墨舟是否進反,但現有的石墨舟在正反面都是有電極孔的,且電極孔的位置都是相對的,所以這種檢測裝置無法檢測石墨舟是否進反。石墨舟在使用過程中需要確認其正反面(石墨舟在正面和反面的工藝點相對位置是不同的),自動裝卸舟運才會順暢運行。如果石墨舟進入機器時的位置相反,因工藝卡點的相對位置不同,會造成碎片,甚至損壞石墨舟,導致的安全事故頻發,帶來較大的經濟損失。
有鑒于上述的缺陷,本設計人,積極加以研究創新,以期創設一種便于自動裝卸舟設備檢測正反的石墨舟,使其更具有產業上的利用價值。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提出一種石墨舟,能夠便于自動裝卸舟設備檢測該石墨舟的正反。
為達此目的,本實用新型采用以下技術方案:
一種石墨舟,包括:
舟體,所述舟體由多個平行分布且串接的舟片構成;
兩組舟腳,兩組所述舟腳分別支撐所述舟體底部的兩端,每組所述舟腳均包括兩個支撐所述舟體端部兩側的外舟腳、位于兩個所述外舟腳之間且能夠沿所述舟體底部水平移動的兩個相對的內舟腳,兩個所述內舟腳靠攏后在兩個所述內舟腳之間形成卡槽;
其中,所述舟體的兩端上均設有兩個電極塊,且兩端上兩個所述電極塊分別相對設置,其中一個所述電極塊上設有標記所述石墨舟正反面的標記孔。
進一步的,所述標記孔為逐漸向所述電極塊內部收窄的錐形孔。
進一步的,所述舟腳中的兩個所述外舟腳之間通過穿管連接,所述穿管貫穿靠近所述舟體底部的所述電極塊,所述穿管上還穿設有若干個將電連接到靠近所述舟體底部的所述電極塊的部分所述舟片間隔的石墨塊,各所述石墨塊上均設有供所述內舟腳滑動的滑槽。
進一步的,所述內舟腳上還連接有將其鎖緊在所述滑槽上的螺栓。
進一步的,所述卡槽為倒U形。
進一步的,各所述舟片通過多個平行設置的陶瓷棒垂直貫穿各所述舟片形成串接。
進一步的,各所述舟片包括:
兩個第一外舟片,兩個所述第一外舟片相對設置,兩個所述第一外舟片上均設有若干工藝卡點,且其中一個所述第一外舟片上的各所述工藝卡點與另一個所述第一外舟片上的各所述工藝卡點互不相對;
兩個第二內舟片,兩個所述第二內舟片設置在兩個所述第一外舟片之間且分別靠近兩個所述第一外舟片;以及
多個第三舟片和多個第四舟片,各所述第三舟片和各所述第四舟片設置在兩個所述第二內舟片之間,且所述第三舟片與所述第四舟片依次交錯分布。
進一步的,各所述電極塊包括:
兩個第一電極塊,兩個所述第一電極塊相對設置,其中一個所述第一電極塊電連接兩個所述第一外舟片與各所述第三舟片相對應的一端,另一個所述第一電極塊電連接兩個所述第一外舟片與各所述第三舟片相對應的另一端;以及
兩個第二電極塊,兩個所述第二電極塊相對設置,其中一個所述第二電極塊電連接兩個所述第二內舟片與各所述第四舟片相對應的一端,另一個所述第二電極塊電連接兩個所述第二內舟片與各所述第四舟片相對應的另一端;
其中一個所述第一電極塊或第二電極塊上設有標記所述石墨舟正反面的所述標記孔。
本實用新型的有益效果為:
1、在石墨舟的其中一個電極塊上開設標記孔,當石墨舟在放反的狀態下進入自動裝卸舟設備時,由于無法檢測到標記孔,自動裝卸舟設備就會報警且拒絕石墨舟進入,這樣就可以避免石墨舟進反造成的安全事故;
2、通過增設能夠開合的內舟腳,當兩個內舟腳合攏后,能夠形成夾持外部運轉小車上的固定柱的卡槽,利用卡槽方便裝卸石墨舟且便于穩定地運輸石墨舟。
附圖說明
圖1是本實用新型優選實施方式提供的石墨舟的結構主視圖;
圖2是本實用新型優選實施方式提供的石墨舟的結構俯視圖;
圖3是本實用新型優選實施方式提供的石墨舟的內舟腳未合攏狀態下的側視圖;
圖4是本實用新型優選實施方式提供的石墨舟的內舟腳合攏狀態下的側視圖。
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





