[實用新型]一種減少溫梯的提拉法晶體生長溫場結構有效
| 申請號： | 201720763508.6 | 申請日： | 2017-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN207047365U | 公開（公告）日： | 2018-02-27 |
| 發明（設計）人： | 陳遠帆;彭志豪;陳冠廷 | 申請（專利權）人： | 蘇州晶特晶體科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/14 | 分類號： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 蘇州廣正知識產權代理有限公司32234 | 代理人： | 張利強 |
| 地址： | 215400 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 減少 提拉法 晶體生長 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種減少溫梯的提拉法晶體生長溫場結構，其特征在于，包括：坩堝、加熱線圈、保溫套、爐腔殼體和數個加熱器，所述加熱器、坩堝、加熱線圈和保溫套分別設置在爐腔殼體內，所述爐腔殼體內壁表面設置有保溫層進行覆蓋，所述坩堝設置在所述保溫套中，所述加熱線圈套設在所述保溫套外側而對坩堝進行加熱，所述數個加熱器分別設置在所述爐腔殼體的內壁與保溫套的外壁之間。
2.根據權利要求1所述的減少溫梯的提拉法晶體生長溫場結構，其特征在于，所述加熱器包括數組陣列分布的電阻絲、熱電偶或者硅鉬棒。
3.根據權利要求1所述的減少溫梯的提拉法晶體生長溫場結構，其特征在于，所述爐腔殼體內壁中設置有冷卻水通道。
4.根據權利要求3所述的減少溫梯的提拉法晶體生長溫場結構，其特征在于，所述爐腔殼體外側設置有與冷卻水通道相連接的進水管和出水管。
5.根據權利要求1所述的減少溫梯的提拉法晶體生長溫場結構，其特征在于，所述加熱器分別從爐腔殼體上部豎直向下延伸。
6.根據權利要求1所述的減少溫梯的提拉法晶體生長溫場結構，其特征在于，所述保溫套頂部中心位置設置有開口。
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