[實(shí)用新型]一種對(duì)顯示屏模組連續(xù)磁控濺射鍍膜的真空系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720763445.4
• 申請(qǐng)日: 2017-06-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206970710U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱選敏;郭愛(ài)云;李爍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢科瑞達(dá)真空科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 北京世譽(yù)鑫誠(chéng)專利代理事務(wù)所(普通合伙)11368
• 代理人: 郭官厚

1.一種對(duì)顯示屏模組連續(xù)磁控濺射鍍膜的真空系統(tǒng)，包括進(jìn)片移動(dòng)架1、上片架2、回片架14、下片架12、出片移動(dòng)架13及管道20，其特征在于：還包括由安裝在底架上的進(jìn)片真空腔3、進(jìn)片粗真空緩沖腔4、進(jìn)片高真空緩沖腔5、進(jìn)片過(guò)渡真空腔6、鍍膜工藝真空腔7、出片過(guò)渡真空腔8、出片高真空緩沖腔9、出片粗真空緩沖腔10、出片真空腔11依次膠圈密封連接組成，所述每個(gè)腔體正面安裝有通過(guò)膠圈密封的維修門(mén)33，所述進(jìn)片真空腔3和進(jìn)片粗真空緩沖腔4右側(cè)分別安裝有一個(gè)進(jìn)片抽氣系統(tǒng)31和一個(gè)進(jìn)片粗真空抽氣系統(tǒng)41；所述出片粗真空緩沖腔10和出片真空腔11右側(cè)還分別安裝有一個(gè)出片粗真空抽氣系統(tǒng)15和出片抽氣系統(tǒng)16。

2.一種對(duì)顯示屏模組連續(xù)磁控濺射鍍膜的真空系統(tǒng)，其特征在于：所述進(jìn)片真空腔3與空氣接觸的法蘭處還安裝有真空閥門(mén)32，所述進(jìn)片真空腔3通過(guò)管道20與進(jìn)片抽氣系統(tǒng)31連接，且由至少一組機(jī)械泵17組成，并至少通過(guò)兩個(gè)連接口34與進(jìn)片真空腔3連接。

3.一種對(duì)顯示屏模組連續(xù)磁控濺射鍍膜的真空系統(tǒng)，其特征在于：所述進(jìn)片粗真空緩沖腔4與進(jìn)片真空腔3通過(guò)真空閥門(mén)32連接，所述進(jìn)片粗真空緩沖腔4通過(guò)管道20與進(jìn)片粗真空抽氣系統(tǒng)41連接，且由至少一組機(jī)械泵17和機(jī)械泵18組成，并至少通過(guò)兩個(gè)連接口34與進(jìn)片粗真空緩沖腔4連接。

4.一種對(duì)顯示屏模組連續(xù)磁控濺射鍍膜的真空系統(tǒng)，其特征在于：所述進(jìn)片高真空緩沖腔5與進(jìn)片粗真空緩沖腔4通過(guò)真空閥門(mén)32連接，所述在進(jìn)片高真空緩沖腔5的背板上至少安裝有兩個(gè)分子泵19，并通過(guò)管道20連接高分子泵抽氣系統(tǒng)51，所述分子泵抽氣系統(tǒng)51由至少一組包含機(jī)械泵17和機(jī)械泵18組成。

5.一種對(duì)顯示屏模組連續(xù)磁控濺射鍍膜的真空系統(tǒng)，其特征在于：所述進(jìn)片過(guò)渡真空腔6與進(jìn)片高真空緩沖腔5通過(guò)真空閥門(mén)32連接，在進(jìn)片過(guò)渡真空腔6的背板上至少安裝有一個(gè)分子泵19，并通過(guò)管道20連接分子泵抽氣系統(tǒng)51。

6.一種對(duì)顯示屏模組連續(xù)磁控濺射鍍膜的真空系統(tǒng)，其特征在于：所述鍍膜工藝真空腔7與進(jìn)片過(guò)渡真空腔6通過(guò)真空法蘭連接，并包括至少三個(gè)獨(dú)立的工藝真空腔，每個(gè)獨(dú)立的工藝真空腔的正面安裝有兩個(gè)通過(guò)膠圈密封的工藝門(mén)；所述每個(gè)鍍膜工藝真空腔7通過(guò)管道20連接的分子泵抽氣系統(tǒng)51由至少一臺(tái)分子泵19組成。

7.一種對(duì)顯示屏模組連續(xù)磁控濺射鍍膜的真空系統(tǒng)，其特征在于：所述出片過(guò)渡真空腔8與鍍膜工藝真空腔7通過(guò)法蘭連接，并與出片高真空緩沖腔9通過(guò)真空閥門(mén)32連接，在出片過(guò)渡真空腔8的背板上至少安裝有一個(gè)分子泵19，并通過(guò)管道20連接分子泵抽氣系統(tǒng)51。

8.一種對(duì)顯示屏模組連續(xù)磁控濺射鍍膜的真空系統(tǒng)，其特征在于：所述出片高真空緩沖腔9與出片粗真空緩沖腔10通過(guò)真空閥門(mén)32連接，在出片高真空緩沖腔9的背板上至少安裝有兩個(gè)分子泵19，并通過(guò)管道20連接分子泵抽氣系統(tǒng)51。

9.一種對(duì)顯示屏模組連續(xù)磁控濺射鍍膜的真空系統(tǒng)，其特征在于：所述出片粗真空緩沖腔10與出片真空腔11通過(guò)真空閥門(mén)32連接，與出片粗真空緩沖腔10通過(guò)管道20連接的出片粗真空抽氣系統(tǒng)15，由至少一組機(jī)械泵17和機(jī)械泵18組成，并至少通過(guò)兩個(gè)連接口34與出片粗真空緩沖腔10連接。

10.一種對(duì)顯示屏模組連續(xù)磁控濺射鍍膜的真空系統(tǒng)，其特征在于：所述出片真空腔11與空氣接觸的法蘭處安裝有真空閥門(mén)32，與出片真空腔11通過(guò)管道20連接的出片抽氣系統(tǒng)16，由至少一組機(jī)械泵17組成，并至少通過(guò)兩個(gè)連接口34與進(jìn)片真空腔3連接。