[實用新型]一種酸洗硅料的設備

有效

• 申請號: 201720760812.5
• 申請日: 2017-06-27
• 公開（公告）號: CN207325414U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 劉文濤;張瀟;王齊;劉東宏;陳磊
• 申請（專利權）人: 浙江昱輝陽光能源有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/12;B08B13/00;F26B23/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李海建

本實用新型公開了一種酸洗硅料的設備，包括硅料處理裝置、導軌和懸臂吊具，其中，硅料處理裝置包括預沖洗裝置、酸洗裝置、純水裝置、超聲波裝置和干燥裝置，待清洗的硅料依次經過預沖洗裝置、酸洗裝置、純水裝置、超聲波裝置和干燥裝置，實現對待清洗硅料的清洗。本申請中的導軌依次連接預沖洗裝置、酸洗裝置、純水裝置、超聲波裝置和干燥裝置，并在導軌上設置可沿導軌移動的懸臂吊具，該懸臂吊具用于懸掛硅料，在導軌上移動實現對硅料的運輸，不需要操作者搬運，從而降低了操作者的勞動強度。

技術領域

本實用新型涉及半導體材料技術領域，具體的說，涉及一種酸洗硅料的設備。

背景技術

高純硅料是半導體和太陽能行業的基礎原料，在使用前需要對其表面進行清洗，此外在各自的生產過程中產生的邊角料也需要清洗再作為原料回爐。清洗共分為多個工序，常規的清洗使用氫氟酸和硝酸的混合溶液，大部分為人工將需要清洗的原料通過搬運至各個清洗工位進行清洗，導致勞動者的勞動強度大。

因此，如何提供一種酸洗硅料的設備，降低操作者的勞動強度，是本領域技術人員目前需要解決的技術問題。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供了一種酸洗硅料的設備，降低操作者的勞動強度。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種酸洗硅料的設備，其包括：

硅料處理裝置，所述硅料處理裝置包括：預沖洗裝置，所述預沖洗裝置用于對硅料進行預沖洗；酸洗裝置，所述酸洗裝置用于對預沖洗后的硅料進行酸洗；純水裝置，所述純水裝置用于對酸洗后的硅料進行純水清洗；超聲波裝置，所述超聲波裝置用于對純水清洗后的硅料進行超聲波清洗；干燥裝置，所述干燥裝置用于對超聲波清洗后的硅料進行干燥；

導軌，所述導軌依次連接所述硅料處理裝置的預沖洗裝置、酸洗裝置、純水裝置、超聲波裝置和干燥裝置；

用于懸掛硅料的懸臂吊具，所述懸臂吊具可沿所述導軌移動且能夠使所述硅料進入所述硅料處理裝置。

優選地，上述的設備中，所述預沖洗裝置、所述酸洗裝置、所述純水裝置、所述超聲波裝置、所述干燥裝置和所述導軌均集成在同一工作臺上。

優選地，上述的設備中，所述酸洗裝置的酸性清洗液為氫氟酸和硝酸的混合溶液。

優選地，上述的設備中，所述工作臺上還設置有對所述酸性清洗液進行配比的配比裝置。

優選地，上述的設備中，所述懸臂吊具通過絲杠與所述導軌連接，所述懸臂吊具可沿所述絲杠的軸線方向移動以調節硅料與所述硅料處理裝置的距離。

優選地，上述的設備中，所述干燥裝置為加熱烘干機。

優選地，上述的設備中，所述干燥裝置的加熱溫度為50℃-100℃。

經由上述的技術方案可知，本實用新型公開了一種酸洗硅料的設備，包括硅料處理裝置、導軌和懸臂吊具，其中，硅料處理裝置包括預沖洗裝置、酸洗裝置、純水裝置、超聲波裝置和干燥裝置，待清洗的硅料依次經過預沖洗裝置、酸洗裝置、純水裝置、超聲波裝置和干燥裝置，實現對待清洗硅料的清洗。本申請中的導軌依次連接預沖洗裝置、酸洗裝置、純水裝置、超聲波裝置和干燥裝置，并在導軌上設置可沿導軌移動的懸臂吊具，該懸臂吊具用于懸掛硅料，在導軌上移動實現對硅料的運輸，不需要操作者搬運，從而降低了操作者的勞動強度。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據提供的附圖獲得其他的附圖。