[實用新型]一種高穩定性單晶生長爐有效
| 申請號: | 201720760765.4 | 申請日: | 2017-06-28 |
| 公開(公告)號: | CN207362370U | 公開(公告)日: | 2018-05-15 |
| 發明(設計)人: | 張琦;呂志萍 | 申請(專利權)人: | 安徽火天晶體科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B35/00 | 分類號: | C30B35/00 |
| 代理公司: | 銅陵市天成專利事務所 34105 | 代理人: | 范智強 |
| 地址: | 244000 安徽省銅陵*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 穩定性 生長 | ||
1.一種高穩定性單晶生長爐,其特征是包括爐體(1)和爐筒(3),所述爐體(1)上固接有支架(2),所述支架(2)上設有提升機(4),所述提升機(4)的底部固接調節桿(5),所述調節桿(5)通過連接裝置(6)和爐筒(3)相連;所述連接裝置(6)包括兩個法蘭盤(62),所述法蘭盤(62)的兩端固接螺桿(61),所述法蘭盤(62)之間通過螺栓(63)相連,上部的法蘭盤(62)上設有若干定位桿(64),所述定位桿(64)穿過上部的法蘭盤和位于下部的法蘭盤相接。
2.根據權利要求1所述的一種高穩定性單晶生長爐,其特征是所述定位桿(64)的數量為三個,呈三角形排布。
3.根據權利要求1所述的一種高穩定性單晶生長爐,其特征是所述定位桿(64)的數量為四個,呈正方形排布。
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